[实用新型]一种应用于氧化扩散炉的上料送片装置

摘要

本实用新型公开了一种应用于氧化扩散炉的上料送片装置。该装置包括A升降导轨、A升降导轨基板、平移电机、平移导轨、桨、平移电机支架、B升降导轨基板、B升降导轨、升降电机支架、升降电机、平移导轨滑块、升降丝杠螺母、平移导轨基板、升降导轨滑块、升降丝杠、平移丝杠螺母和平移丝杠。本设计采用单桨对多炉的炉体上料送片技术，利用PLC通过两个伺服电机分别控制载着硅片的桨进行Y轴的升降及X轴的水平运动，使其根据对应的工艺到达不同的炉口高度位置后，将桨推进炉内完成送片。本设计提高了氧化扩散炉设备上料送片的自动化水平；解决了上料送片过程中人工操作所遇到的问题；提高了工作效率。

主权项

 一种应用于氧化扩散炉的上料送片装置，其特征在于：该装置包括A升降导轨（1）、A升降导轨基板（2）、平移电机（4）、平移导轨（5）、桨（6）、平移电机支架（7）、B升降导轨基板（8）、B升降导轨（9）、升降电机支架（10）、升降电机（11）、平移导轨滑块（12）、升降丝杠螺母（13）、平移导轨基板（14）、升降导轨滑块（15）、升降丝杠（16）、平移丝杠螺母（17）和平移丝杠（18）；其中，A升降导轨基板（2）和B升降导轨基板（8）分别固定在炉体内框架上，左侧两根A升降导轨（1）分别固定在A升降导轨基板（2）上，右侧两根B升降导轨（9）分别固定在B升降导轨基板（8）上，升降导轨滑块（15）分别安装在A升降导轨（1）和B升降导轨（9）上；平移导轨基板（14）与安装在A升降导轨（1）和B升降导轨（9）上的升降导轨滑块（15）固定，两根平移导轨（5）通过平移导轨滑块（12）固定在平移导轨基板（14）上；升降电机（11）通过升降电机支架（10）固定在B升降导轨基板（8）上，同时升降电机（11）通过齿轮与置于B升降导轨（9）上的升降丝杠（16）连接；平移电机（4）通过平移电机支架（7）固定在平移导轨基板（14）上，同时平移电机（4）通过齿轮与置于平移导轨（5）上的平移丝杠（18）连接；平移丝杠螺母（17）和升降丝杠螺母（13）分别安装在平移丝杠（18）和升降丝杠（16）上；载着硅片（3）的桨（6）的后端固定在平移导轨滑块（12）上。