[实用新型]一种带有抽气系统的PECVD工艺设备腔室

摘要

本实用新型公开了一种带有抽气系统的PECVD工艺设备腔室，涉及PECVD技术领域，其包括真空泵和设备腔室，真空泵和设备腔室通过抽气管道连接，抽气管道上设有过滤器，过滤器将抽气管道分为两段，与设备腔室连接的一段为第一抽气管道，与真空泵连接的一段为第二抽气管道。本装置通过过滤器对进入真空泵的气体进行过滤，能够对各种渣粒粉尘进行充分拦截，保护真空泵免受伤害，从而防止真空泵卡死，延长了真空泵的使用寿命，并保证了减反射膜沉积工序的正常运行，提高了生产效率。

主权项

一种带有抽气系统的PECVD工艺设备腔室，其包括真空泵（2）和设备腔室（1），真空泵（2）和设备腔室（1）通过抽气管道连接，其特征在于：抽气管道上设有过滤器（4），过滤器（4）将抽气管道分为两段，与设备腔室（1）连接的一段为第一抽气管道（31），与真空泵（2）连接的一段为第二抽气管道（32）。