[实用新型]用于Crius机型的加热装置有效
| 申请号： | 201520654760.4 | 申请日： | 2015-08-27 |
| 公开（公告）号： | CN204982131U | 公开（公告）日： | 2016-01-20 |
| 发明（设计）人： | 朱耀强 | 申请（专利权）人： | 湘能华磊光电股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B25/10 | 分类号： | C30B25/10 |
| 代理公司： | 长沙智嵘专利代理事务所 43211 | 代理人： | 黄子平 |
| 地址： | 423038 湖南省*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于Crius机型的加热装置，包括多根用于向石墨盘均匀传递热能的加热丝以及用于为加热丝提供发热能源并承载加热丝的加热底座，加热丝沿加热底座径向排列于加热底座的上表面并与加热丝上部的石墨盘间隔布置；加热丝本体沿加热底座的周向布设，或者加热丝本体以加热底座中心为螺旋中心呈螺旋状布设；加热丝上表面高度不同。可直接应用于Aixtron Crius I机型，作为37片机的加热装置，采用加热丝可升降的设计，对固定的Crius I的加热装置也进行相应的分别针对每圈加热丝的升降，为提高温场的均匀性创造了可能。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 crius 机型 加热 装置 | ||
【主权项】：
一种用于Crius机型的加热装置，其特征在于，包括多根用于向石墨盘均匀传递热能的加热丝(1)以及用于为加热丝(1)提供发热能源并承载所述加热丝(1)的加热底座(2)，所述加热丝(1)沿所述加热底座(2)径向排列于所述加热底座(2)的上表面并与所述加热丝(1)上部的石墨盘间隔布置；所述加热丝(1)本体沿所述加热底座(2)的周向布设，或者所述加热丝(1)本体以所述加热底座(2)中心为螺旋中心呈螺旋状布设；所述加热丝(1)上表面高度不同。
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