[实用新型]一种MEMS流量计流道结构有效
| 申请号： | 201520653394.0 | 申请日： | 2015-08-27 |
| 公开（公告）号： | CN204854847U | 公开（公告）日： | 2015-12-09 |
| 发明（设计）人： | 刘勋 | 申请（专利权）人： | 成都千嘉科技有限公司 |
| 主分类号： | G01F1/86 | 分类号： | G01F1/86 |
| 代理公司： | 四川力久律师事务所 51221 | 代理人： | 林辉轮;王芸 |
| 地址： | 610211 四川省成都*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种MEMS流量计流道结构。所述MEMS流量计流道结构包括燃气表壳体、进气管、流量检测管以及出气管；所述流量检测管一端与所述出气管连接并竖直悬空在燃气表壳体中；所述流量检测管的自由端设置有侧向开口的整流部。本实用新型采用的流道结构使进入气密性容腔壳体的燃气不直接流入流量检测管，而是先流入燃气表壳体内，待气体充满容腔后才流入流量检测管，同时，所述流量检测管垂直设置从而使得一些较大的污染物（如粉尘）不易进入，这样可以让燃气中含有的微量粉尘等杂质，因流速降低而沉于腔底，使进入流量检测管的燃气纯洁度提高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mems 流量计 结构 | ||
【主权项】：
一种MEMS流量计流道结构，其特征在于，包括燃气表壳体、进气管、流量检测管以及出气管；所述进气管与燃气表壳体的进口连接，所述出气管与所述燃气表壳体的出气口连接，所述流量检测管一端与所述出气管连接并竖直悬空在燃气表壳体中；所述流量检测管的自由端设置有侧向开口的整流部；所述流量检测管中设置有用于测量燃气流量的MEMS燃气流量传感器。
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