[实用新型]一种能控制电场强度的溅射镀膜装置

摘要

本实用新型公开了一种能控制电场强度的溅射镀膜装置,所述镀膜腔室设置在腔体的内部，所述阴极板设置在镀膜腔室的底部，所述阳极板设置在腔体的顶部，且设置在镀膜腔室内，所述靶材设置在阳极板的下侧，所述进口设置在腔体左侧的中部上，所述出口设置在腔体的右侧，所述真空进气装置设置在腔体的顶部上，所述控制器安装在腔体右侧的上部。该能控制电场强度的溅射镀膜装置，控制器能够对真空溅射镀膜装置中的电流大小控制，从而控制粒子的运动速度、轨迹和密度，可以根据实际需要来调节电场强度的大小，因此能够满足实际工业发展的需要；该能控制电场强度的溅射镀膜装置具有操作简单，维护方便，工作效率高等优点，具有市场推广价值。

主权项

一种能控制电场强度的溅射镀膜装置,包括腔体(1)、镀膜腔室(2)、靶材(3)、传递辊(4)、挡板组件(5)、阴极板(6)、阳极板(7)、A磁铁块(8)、B磁铁块(9)、电线(10)、进口(11)、出口(12)、真空进气装置(13)、控制器(14)，其特征在于：所述镀膜腔室(2)设置在腔体(1)的内部，所述阴极板(6)设置在镀膜腔室(2)的底部，所述传递辊(4)和挡板组件(5)均设置在阴极板(6)的上侧，且挡板组件(5)间隔设置在传递辊(4)之间，所述阳极板(7)设置在腔体(1)的顶部，且设置在镀膜腔室(2)内，所述靶材(3)设置在阳极板(7)的下侧，所述A磁铁块(8)设置在镀膜腔室(2)的左侧，所述B磁铁块(9)设置在镀膜腔室(2)的右侧，所述电线(10)分别与控制器(14)、阴极板(6)和阳极板(7)电性连接，所述进口(11)设置在腔体(1)左侧的中部上，所述出口(12)设置在腔体(1)的右侧，所述真空进气装置(13)设置在腔体(1)的顶部上，所述控制器(14)安装在腔体(1)右侧的上部。