[实用新型]一种能控制电场强度的溅射镀膜装置

权利要求书

1.一种能控制电场强度的溅射镀膜装置,包括腔体(1)、镀膜腔室(2)、靶材(3)、传递辊(4)、挡板组件(5)、阴极板(6)、阳极板(7)、A磁铁块(8)、B磁铁块(9)、电线(10)、进口(11)、出口(12)、真空进气装置(13)、控制器(14)，其特征在于：所述镀膜腔室(2)设置在腔体(1)的内部，所述阴极板(6)设置在镀膜腔室(2)的底部，所述传递辊(4)和挡板组件(5)均设置在阴极板(6)的上侧，且挡板组件(5)间隔设置在传递辊(4)之间，所述阳极板(7)设置在腔体(1)的顶部，且设置在镀膜腔室(2)内，所述靶材(3)设置在阳极板(7)的下侧，所述A磁铁块(8)设置在镀膜腔室(2)的左侧，所述B磁铁块(9)设置在镀膜腔室(2)的右侧，所述电线(10)分别与控制器(14)、阴极板(6)和阳极板(7)电性连接，所述进口(11)设置在腔体(1)左侧的中部上，所述出口(12)设置在腔体(1)的右侧，所述真空进气装置(13)设置在腔体(1)的顶部上，所述控制器(14)安装在腔体(1)右侧的上部。

2.根据权利要求1所述的一种能控制电场强度的溅射镀膜装置，其特征在于：所述电线(10)和腔体(1)之间的连接部设有密封件。

3.根据权利要求1所述的一种能控制电场强度的溅射镀膜装置，其特征在于：所述真空进气装置(13)由钢瓶阀、流量计和进气阀组成，所述钢瓶阀、流量计和进气阀从上到下依次安装在通向镀膜腔室的进气管道上。

4.根据权利要求1所述的一种能控制电场强度的溅射镀膜装置，其特征在于：所述挡板组件(5)由固定板、绝缘件和挡板组成，所述固定板与腔体的底部固定连接，所述绝缘件设置在固定板与挡板之间。