[实用新型]一种蓝宝石单晶炉加热控制电路有效
申请号: | 201520448034.7 | 申请日: | 2015-06-26 |
公开(公告)号: | CN204731660U | 公开(公告)日: | 2015-10-28 |
发明(设计)人: | 胡明理;何永慎;李业林;林政育;李宗谚;詹经略 | 申请(专利权)人: | 宁夏佳晶科技有限公司 |
主分类号: | G05D23/20 | 分类号: | G05D23/20;C30B17/00;C30B29/20 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 750000 宁夏回族自*** | 国省代码: | 宁夏;64 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种蓝宝石单晶炉加热控制电路,包括数字控制器,及与数字控制器电连接的相加器;所述相加器输出端连接到电源输出端;及与数字控制器电连接的预设工艺参数的存储模块、及与电源输出端电连接的电流采集路和电压采集电路;所述电流采集路和电压采集电路输端均连接数字控制器和相加器;所述数字控制器还电连接有温度采集电路。本实用新型的蓝宝石单晶炉加热控制电路,采用双闭环反馈控制结构;可以抑制控制系统的干扰,对负荷和操作条件的变化适应性强,控制质量高;能够将存储模块内的预设工艺参数与温度、输出电压、输出电流对应起来,增加了系统的稳定性和减小加热系统迟延。 | ||
搜索关键词: | 一种 蓝宝石 单晶炉 加热 控制电路 | ||
【主权项】:
一种蓝宝石单晶炉加热控制电路,其特征在于:包括数字控制器,及与数字控制器电连接的相加器;所述相加器输出端连接到电源输出端;及与数字控制器电连接的预设工艺参数的存储模块、及与电源输出端电连接的电流采集路和电压采集电路;所述电流采集路和电压采集电路输端均连接数字控制器和相加器;所述数字控制器还电连接有温度采集电路。
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