[实用新型]一种蓝宝石单晶炉加热控制电路

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种加热控制电路，具体涉及一种蓝宝石单晶炉加热控制电路，属于蓝宝石单晶炉技术领域。

背景技术

单晶炉是一种在真空气体环境中，用钨制加热器将多晶氧化铝等多晶材料熔化，用泡生法生长无错位单晶的设备；而加热器是蓝宝石KY法单晶炉中的主要加热组件；加热器主要由钨棒制作组成，采用泡生法工艺的蓝宝石炉在加热时需要高精度的加热控制系统；现有技术中的蓝宝石单晶炉加热控制电路信号采集比较单一，加热系统不够稳定；且存在一定的迟延性，及电流电压达到要求，而温度没有达到要求，其需要一定的加热时间；此时如果仅仅采集温度，将会造成温度超过预设值。

实用新型内容

(一)要解决的技术问题

为解决上述问题，本实用新型提出了一种蓝宝石单晶炉加热控制电路，提高加热控制的稳定性。

(二)技术方案

本实用新型的蓝宝石单晶炉加热控制电路，包括数字控制器，及与数字控制器电连接的相加器；所述相加器输出端连接到电源输出端；及与数字控制器电连接的预设工艺参数的存储模块、及与电源输出端电连接的电流采集路和电压采集电路；所述电流采集路和电压采集电路输端均连接数字控制器和相加器；所述数字控制器还电连接有温度采集电路。

进一步地，所述数字控制器通过DA转换器电连相加器。

进一步地，所述电流采集路、电压采集电路和温度采集电路通过AD转换器电连接数字控制器。

进一步地，所述数字控制器还电连接有声光报警电路。

进一步地，所述数字控制器还电连接有LCD。

(三)有益效果

与现有技术相比，本实用新型的蓝宝石单晶炉加热控制电路，采用双闭环反馈控制结构；可以抑制控制系统的干扰，对负荷和操作条件的变化适应性强，控制质量高；能够将存储模块内的预设工艺参数与温度、输出电压、输出电流对应起来，增加了系统的稳定性和减小加热系统迟延。

附图说明

图1是本实用新型的整体结构示意图。

具体实施方式

本实用新型的蓝宝石单晶炉采用传统的加热电路；主要包括大功率电力变压器、晶闸管、集成触发芯片、熔断器、电压、电流互感器和其他辅助设备与电路；微机控制单晶炉直流加热电源是将三相工频交流电经过降压后，通过V1～V6这6个大功率晶闸管构成的三相全控整流桥整流成电压可调的脉动直流，再通过平波电抗器将脉动的直流滤波变成光滑平稳的直流电供给单晶炉石墨加热器。

如图1所示的本实用新型的蓝宝石单晶炉加热控制电路，包括数字控制器，及与数字控制器电连接的相加器；所述相加器输出端连接到电源输出端；及与数字控制器电连接的预设工艺参数的存储模块、及与电源输出端电连接的电流采集路和电压采集电路；所述电流采集路和电压采集电路输端均连接数字控制器和相加器；所述数字控制器还电连接有温度采集电路。

其中，所述数字控制器通过DA转换器电连相加器。所述电流采集路、电压采集电路和温度采集电路通过AD转换器电连接数字控制器。所述数字控制器还电连接有声光报警电路。所述数字控制器还电连接有LCD。

数据采集时，能够将电流、电压和温度对应起来，避免因为工作过程中迟延造成误引导操作；本实用新型的蓝宝石单晶炉加热控制电路，采用双闭环反馈控制结构；采用该种控制结构，可以抑制控制系统的干扰；对负荷和操作条件的变化适应性强，控制质量高；工作时可以将实时采集的电压信号和电流信号输入到相加器中，对数字控制器通过DA转换器给定的电压信号进行修正，同时还可以通过AD转换器送至数字控制器；数字控制器进行分析处理；数字控制器利用系统现场反馈回来的电压、电流值计算出即时的平均功率值P(P＝UIcos，对于纯阻性负载cos＝1)，再送LCD显示，工作人员就可以随时查看输出功率，看其能否满足单晶生长过程中某些特定阶段对温度精度提出的要求。

上面所述的实施例仅仅是对本实用新型的优选实施方式进行描述，并非对本实用新型的构思和范围进行限定。在不脱离本实用新型设计构思的前提下，本领域普通人员对本实用新型的技术方案做出的各种变型和改进，均应落入到本实用新型的保护范围，本实用新型请

求保护的技术内容，已经全部记载在权利要求书中。