[实用新型]适用于玻璃面板的磁控溅射装置有效
| 申请号： | 201520376338.7 | 申请日： | 2015-06-03 |
| 公开（公告）号： | CN204702800U | 公开（公告）日： | 2015-10-14 |
| 发明（设计）人： | 胡超川;傅强;李加海;朱磊;江雪峰 | 申请（专利权）人： | 安徽立光电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C03C17/00 |
| 代理公司： | 南京众联专利代理有限公司 32206 | 代理人： | 顾进 |
| 地址： | 239200 安徽省滁*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种适用于玻璃面板的磁控溅射装置，其包括有溅射工艺室，溅射工艺室两侧分别设置有一块磁性端块；每一块磁性端块均连接有移动丝杆，所述移动丝杆在溅射工艺室前端面与后端面所在平面之间，沿水平方向进行延伸，且其轴线平行于磁性端块的端面；采用上述技术方案的适用于玻璃面板的磁控溅射装置，其可通过丝杆的旋转带动磁性端块在工艺处理过程中实时进行水平位移，从而一方面使得溅射工艺室中的靶材与磁场之间保持相对运动，以使得靶材中发生溅射的部位实时变化，进而使得靶材的利用率得以显著改善；另一方面，靶材的利用率的提高致使其对于玻璃面板的整体加工效率亦可得以改善。 | ||
| 搜索关键词： | 适用于 玻璃 面板 磁控溅射 装置 | ||
【主权项】：
一种适用于玻璃面板的磁控溅射装置，其特征在于，所述适用于玻璃面板的磁控溅射装置包括有溅射工艺室，溅射工艺室两侧分别设置有一块磁性端块；每一块磁性端块均连接有移动丝杆，所述移动丝杆在溅射工艺室前端面与后端面所在平面之间，沿水平方向进行延伸，且其轴线平行于磁性端块的端面。
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