[实用新型]适用于玻璃面板的磁控溅射装置

权利要求书

1.一种适用于玻璃面板的磁控溅射装置，其特征在于，所述适用于玻璃面板的磁控溅射装置包括有溅射工艺室，溅射工艺室两侧分别设置有一块磁性端块；每一块磁性端块均连接有移动丝杆，所述移动丝杆在溅射工艺室前端面与后端面所在平面之间，沿水平方向进行延伸，且其轴线平行于磁性端块的端面。

2.按照权利要求1所述的适用于玻璃面板的磁控溅射装置，其特征在于，所述溅射工艺室两侧设置有控制电机，控制电机的主轴通过皮带轮与移动丝杆相连接。

3.按照权利要求2所述的适用于玻璃面板的磁控溅射装置，其特征在于，所述溅射工艺室的侧端面设置有沿竖直方向延伸的安置槽体，所述磁性端块设置于安置槽体内部；所述控制电机固定于固定支杆之上，所述移动丝杆以及固定支杆的两端分别固定于安置槽体的两个侧端部之上。

4.按照权利要求3所述的适用于玻璃面板的磁控溅射装置，其特征在于，所述磁性端块之上固定设置有支撑端块，支撑端块的轴线位置设置有支撑杆件，支撑杆件的两端分别固定于安置槽体的两个侧端部之上。

5.按照权利要求4所述的适用于玻璃面板的磁控溅射装置，其特征在于，所述溅射工艺室的侧端面的底部设置有支撑槽体，支撑槽体内部设置有多个支撑轮，每一个支撑轮的轴线均垂直于磁性端块的端面，且其均与磁性端块的底端面相切。