[实用新型]一种在线检测硅片装置

摘要

本实用新型涉及产品检测技术领域，具体地说是一种在线检测硅片装置，包括外壳、第一感应器、第二感应器、轨道转换门、检测头、第一传送轨道和第二传送轨道，所述外壳设置于第一传送轨道上，所述外壳上设有观察门，所述检测头设置于外壳内侧顶部中心位置，检测头正对的第一传送轨道上设有第一感应器，所述第二传送轨道设置于第一传送轨道下方，且与第一传送轨道连接处设有轨道转换门，轨道转换门上设有第二感应器。本实用新型可以对硅片的完好性进行无接触、无损伤地检测，将带有裂纹的坏片自动分离出来。

主权项

一种在线检测硅片装置，其特征在于，包括外壳（1）、第一感应器（2）、第二感应器（6）、轨道转换门（8）、检测头（3）、第一传送轨道（4）和第二传送轨道（5），所述外壳设置于第一传送轨道（4）上，所述外壳（1）上设有观察门（7），所述检测头（3）设置于外壳（1）内侧顶部中心位置，检测头正对的第一传送轨道（4）上设有第一感应器（2），所述第二传送轨道（5）设置于第一传送轨道（4）下方，且与第一传送轨道（4） 连接处设有轨道转换门（8），轨道转换门（8）上设有第二感应器（6）。