[实用新型]一种晶片载盘有效
| 申请号： | 201520349225.8 | 申请日： | 2015-05-27 |
| 公开（公告）号： | CN204644500U | 公开（公告）日： | 2015-09-16 |
| 发明（设计）人： | 谢祥彬;宋长伟;张家宏;林兓兓 | 申请（专利权）人： | 安徽三安光电有限公司 |
| 主分类号： | C30B25/12 | 分类号： | C30B25/12 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 241000 安徽*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型提出一种晶片载盘，包括底盘和位于底盘上表面的托盘，所述托盘由若干个带有晶片凹槽的石墨盘组装而成，底盘与托盘之间、若干个石墨盘之间均通过固定件固定，由此组装而成的晶片载盘可以自由拆卸，该种载盘随着工艺条件的变化或受承载盘自身寿命的影响，可以对需要更换的部分进行替换而保留其余部分，因此可以有效提高载盘的整体使用效率，节省设备成本。为方便设备的维护与使用，晶片凹槽的尺寸、形状与所承载晶片的尺寸、形状相匹配，因此单个托盘可以兼顾不同形状、尺寸的晶片，满足外延生长的需要。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 晶片 | ||
【主权项】：
一种晶片载盘，包括底盘和位于底盘上表面的托盘，其特征在于：所述托盘由若干个带有晶片凹槽的石墨盘组装而成。
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