[实用新型]太阳能硅片扩散装置

摘要

一种太阳能硅片扩散装置，包括炉体管及设置于该炉体管内的喷淋管，喷淋管的底部沿长度方向间隔布置有若干个喷淋孔，炉体管上侧的内壁上成型有供喷淋管穿过的定位环，喷淋管底部具有三排沿长度方向布置的喷淋孔，喷淋管上外侧两排喷淋孔孔心轴之间的夹角为105°～115°，同一排所述喷淋孔中相邻两喷淋孔的孔心距为4.74～4.78mm。本实用新型的扩散装置有效减少了扩散过程中工艺气体的横向流动，避免了工艺气体在横向流动时硅片阻挡导致的气流不均问题，工艺气体只在垂直平面内经过硅片，使硅片与工艺气体均匀充分接触；同时，本实用新型中喷淋孔之间的排布方式进一步促进了扩散源分散的均匀性，从而在硅片上形成均匀的PN结，提高了硅片质量。

主权项

一种太阳能硅片扩散装置，包括炉体管(1)及设置于该炉体管(1)内的喷淋管(2)，所述喷淋管(2)的底部沿长度方向间隔布置有若干个喷淋孔(21)，其特征在于：所述炉体管(1)上侧的内壁上成型有供喷淋管(2)穿过的定位环(11)，所述喷淋管(2)底部具有三排沿长度方向布置的喷淋孔(21)，所述喷淋管(2)上外侧两排喷淋孔(21)孔心轴之间的夹角(α)为105°～115°，同一排所述喷淋孔(21)中相邻两喷淋孔(1)的孔心距为4.74～4.78mm；所述炉体管(1)内腔的中部设置有沿长度方向布置的尾部进气管(3)，所述炉体管(1)底部的内侧设置有尾部出气管(4)及温度测量件(5)。