[实用新型]一种晶体硅太阳能电池三氯氧磷存储装置

摘要

本实用新型公开了一种晶体硅太阳能电池三氯氧磷存储装置，包括封闭的源瓶和设置在源瓶上并与源瓶相连通的进气管和出气管，所述源瓶内设有悬浮块和伸缩软管，所述悬浮块内部中空并设有通气管道，通气管道一端通过伸缩软管与进气管相连通，另一端为出气口。本实用新型的有益效果为通过设置悬浮块和伸缩软管，使得太阳能电池发射极制造过程中三氯氧磷药液的液位随着反应的进行进气的位置发生相应变化，使药液供给不受液位变化的影响，从而达到药液供给过程的平稳一致性。

主权项

一种晶体硅太阳能电池三氯氧磷存储装置，包括封闭的源瓶（2）和设置在源瓶（2）上并与源瓶（2）相连通的进气管（1）和出气管（6），其特征在于：所述源瓶内设有悬浮块（4）和伸缩软管（3），所述悬浮块（4）内部中空并设有通气管道，通气管道一端通过伸缩软管（3）与进气管（1）相连通，另一端为出气口（5）。