[实用新型]改进型扩展光源干涉仪系统有效
| 申请号： | 201520271403.X | 申请日： | 2015-04-27 |
| 公开（公告）号： | CN204535860U | 公开（公告）日： | 2015-08-05 |
| 发明（设计）人： | 林永东 | 申请（专利权）人： | 林永东 |
| 主分类号： | G01J9/02 | 分类号： | G01J9/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 350200 *** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种改进型扩展光源干涉仪系统，主要包括激光光源(1)、扩束及聚焦系统、空间光调制器、分束器(7)、准直透镜(8)以及成像系统，按照激光光源(1)的激光方向依次设置激光光源(1)、扩束及聚焦系统、空间光调制器、分束器(7)和准直透镜(8)，所述成像系统对应于分束器(7)设置，准直透镜(8)后侧依次摆设参考镜(9)和待测镜(10)。本实用新型提供的改进型扩展光源干涉仪系统实现了完备的扩展光源干涉仪的设备搭建，并且设置了可移动的位移台，实现了光源可调节，提高了测试的精度和测试范围。 | ||
| 搜索关键词： | 改进型 扩展 光源 干涉仪 系统 | ||
【主权项】：
一种改进型扩展光源干涉仪系统，其特征在于：所述干涉仪主要包括激光光源(1)、扩束及聚焦系统、空间光调制器、分束器(7)、准直透镜(8)以及成像系统，按照激光光源(1)的激光方向依次设置激光光源(1)、扩束及聚焦系统、空间光调制器、分束器(7)和准直透镜(8)，所述成像系统对应于分束器(7)设置，准直透镜(8)后侧依次摆设参考镜(9)和待测镜(10)。
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