[实用新型]改进型扩展光源干涉仪系统

权利要求书

1.一种改进型扩展光源干涉仪系统，其特征在于：所述干涉仪主要包括激光光源(1)、扩束及聚焦系统、空间光调制器、分束器(7)、准直透镜(8)以及成像系统，按照激光光源(1)的激光方向依次设置激光光源(1)、扩束及聚焦系统、空间光调制器、分束器(7)和准直透镜(8)，所述成像系统对应于分束器(7)设置，准直透镜(8)后侧依次摆设参考镜(9)和待测镜(10)。

2.根据权利要求1所述的改进型扩展光源干涉仪系统，其特征在于：所述扩束及聚焦系统由小孔光阑(2)、扩束镜(3)和聚焦系统(4)构成。

3.根据权利要求1或2所述的改进型扩展光源干涉仪系统，其特征在于：所述空间光调制器由偏振片(5)和毛玻璃(6)构成。

4.根据权利要求1或2所述的改进型扩展光源干涉仪系统，其特征在于：所述成像系统由成像透镜(11)和与之配设的CCD(12)构成。

5.根据权利要求3所述的改进型扩展光源干涉仪系统，其特征在于：所述毛玻璃(5)为旋转毛玻璃，连接有一电机(13)。

6.根据权利要求1所述的改进型扩展光源干涉仪系统，其特征在于：所述激光光源(1)设置在一位移台(14)上。