[实用新型]改进型扩展光源干涉仪系统有效
申请号: | 201520271403.X | 申请日: | 2015-04-27 |
公开(公告)号: | CN204535860U | 公开(公告)日: | 2015-08-05 |
发明(设计)人: | 林永东 | 申请(专利权)人: | 林永东 |
主分类号: | G01J9/02 | 分类号: | G01J9/02 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 350200 *** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 改进型 扩展 光源 干涉仪 系统 | ||
技术领域
本实用新型涉及一种改进型的扩展光源的干涉系统,属于干涉仪领域。
背景技术
干涉现象是光的波动性的最严格、最有效的证明,这个现象是由于两束或多束光的重叠,使能量体密度在空间上规则分布的结果。光干涉测量方法作为检测高精密光学元件和系统的最传统、有效手段之一,已大量的应用于科学研究与工业生产之中。在实际使用过程中,现阶段干涉仪大多采用激光器作为照明光源,而激光器具有极强的时间和空间相干性,因此,在干涉检测过程中,并不需要考虑干涉腔长的限制,就可以使干涉条纹具有良好的对比度,并且随着电子与计算机技术的发展,产生的位相干涉检测技术,使测量极限由传统的λ/10提高了一个数量级以上,且具有很高的重复性。然而,正是由于激光具有的高度相干性,它虽然降低了干涉仪的使用难度,但由于光学干涉的极端灵敏性,在光学元件加工过程中产生的微观坑点等缺陷与元件表面污染所产生的散射光会发生相干叠加,在干涉图中会出现许多牛眼环或靶心等相干噪声,它们在一定程度上改变了干涉图的空间结构,从而引起了被测面面型或波前形状的测量误差。
自从Fizeau在1862年提出并应用Fizean干涉仪以来,它就在光学测量领域占据了重要的地位,尤其在70年代后,激光被广泛用做为干涉测试的光源,从此以后,Fizean型干涉仪更有了长足的迅猛发展,而且因为它具有参考光与测试光共光路的光路结构,使其对环境的干扰不敏感,因此,它在光学干涉检测中的应用长盛不衰。然而Fizean干涉仪在控制空间相干长度和抑制相干噪声方面还存在很多可以改进的地方。
实用新型内容
为了克服现有技术的不足,解决好现有技术的问题,弥补现有目前市场上现有产品的不足。
本实用新型提供了一种改进型扩展光源干涉仪系统,包括激光光源、扩束及聚焦系统、空间光调制器、分束器、准直透镜以及成像系统,按照激光光源的激光方向依次设置激光光源、扩束及聚焦系统、空间光调制器、分束器和准直透镜,所述成像系统对应于分束器设置,准直透镜后侧依次摆设参考镜和待测镜。
优选的,上述扩束及聚焦系统由小孔光阑、扩束镜和聚焦系统构成。
优选的,上述空间光调制器由偏振片和毛玻璃构成。
优选的,上述成像系统由成像透镜和与之配设的CCD构成。
优选的,上述毛玻璃为旋转毛玻璃,连接有一电机。
优选的,上述激光光源设置在一位移台上。
本实用新型提供的改进型扩展光源干涉仪系统实现了完备的扩展光源干涉仪的设备搭建,并且设置了可移动的位移台,实现了光源可调节,提高了测试的精度和测试范围。
附图说明
图1为本实用新型结构示意图。
附图标记:1-激光光源;2-小孔光阑;3-扩束镜;4-聚焦透镜;5-偏振片;6-毛玻璃;7-分束器;8-准直透镜;9-参考镜;10-待测镜;11-成像透镜;12-CCD;13-电机;14-位移台。
具体实施方式
为了便于本领域普通技术人员理解和实施本实用新型,下面结合附图及具体实施方式对本实用新型作进一步的详细描述。
如图1所示,本实用新型提供的改进型扩展光源干涉仪系统,整个系统大致可分为如下几部分:532.8nm激光光源1、扩束及聚焦系统(2、3、4)、空间光调制器(5、6、13)、分束器7、准直透镜8、成像系统(11、12)、参考镜9和被测镜10以及位移台14等。其中,激光光源1与扩束聚焦系统(2、3、4)固定连接,并可沿光轴前后移动以改变激光光斑大小;被测镜10也可前后移动以改变干涉腔长。
具体的本实用新型主要包括激光光源1、扩束及聚焦系统、空间光调制器、分束器7、准直透镜8以及成像系统,按照激光光源1的激光方向依次设置激光光源1、扩束及聚焦系统、空间光调制器、分束器7和准直透镜8,成像系统对应于分束器7设置,准直透镜8后侧依次摆设参考镜9和待测镜10。
其中,扩束及聚焦系统由小孔光阑2、扩束镜3和聚焦系统4构成。空间光调制器由偏振片5和毛玻璃6构成。成像系统由成像透镜11和与之配设的CCD12构成。毛玻璃5为旋转毛玻璃,连接有一电机13。激光光源1设置在一位移台14上。
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