[实用新型]多干涉同步移相测量系统有效
| 申请号： | 201520271268.9 | 申请日： | 2015-04-27 |
| 公开（公告）号： | CN204757925U | 公开（公告）日： | 2015-11-11 |
| 发明（设计）人： | 林永东 | 申请（专利权）人： | 林永东 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 350200 *** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种多干涉同步移相测量系统，主要包括激光器(1)、偏振分光棱镜(2)、半反半透镜(3)、分光系统(4)、第一CCD(5)、第二CCD(8)、第三CCD(10)和参考镜(10)，激光器(1)、偏振分光棱镜(2)和被测镜(11)设置在同一光轴线，偏振分光棱镜(2)、半反半透镜(3)和参考镜(10)设置在另一光轴线上，所述两条光轴线相互垂直，所述半反半透镜(3)的两个出射方向分别设置分光系统(4)和第三CCD(9)，所述分光系统(4)对应设置第一CCD(5)和第二CCD(8)。本实用新型提供的多干涉同步移相测量系统实现了三步移相的静态采集，从根本上杜绝了环境振动对测量结果的影响。 | ||
| 搜索关键词： | 干涉 同步 测量 系统 | ||
【主权项】：
一种多干涉同步移相测量系统，其特征在于：所述多干涉同步移相测量系统主要包括激光器(1)、偏振分光棱镜(2)、半反半透镜(3)、分光系统(4)、第一CCD(5)、第二CCD(8)、第三CCD(10)和参考镜(10)，激光器(1)、偏振分光棱镜(2)和被测镜(11)设置在同一光轴线，偏振分光棱镜(2)、半反半透镜(3)和参考镜(10)设置在另一光轴线上，所述两条光轴线相互垂直，所述半反半透镜(3)的两个出射方向分别设置分光系统(4)和第三CCD(9)，所述分光系统(4)对应设置第一CCD(5)和第二CCD(8)。
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