[实用新型]多干涉同步移相测量系统有效
| 申请号： | 201520271268.9 | 申请日： | 2015-04-27 |
| 公开（公告）号： | CN204757925U | 公开（公告）日： | 2015-11-11 |
| 发明（设计）人： | 林永东 | 申请（专利权）人： | 林永东 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 350200 *** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 干涉 同步 测量 系统 | ||
【权利要求书】：
1.一种多干涉同步移相测量系统，其特征在于：所述多干涉同步移相测量系统主要包括激光器(1)、偏振分光棱镜(2)、半反半透镜(3)、分光系统(4)、第一CCD(5)、第二CCD(8)、第三CCD(10)和参考镜(10)，激光器(1)、偏振分光棱镜(2)和被测镜(11)设置在同一光轴线，偏振分光棱镜(2)、半反半透镜(3)和参考镜(10)设置在另一光轴线上，所述两条光轴线相互垂直，所述半反半透镜(3)的两个出射方向分别设置分光系统(4)和第三CCD(9)，所述分光系统(4)对应设置第一CCD(5)和第二CCD(8)。
2.根据权利要求1所述的多干涉同步移相测量系统，其特征在于：所述激光器(1)为偏振氦氖激光器。
3.根据权利要求1所述的多干涉同步移相测量系统，其特征在于：所述半反半透镜(3)和分光系统(4)之间设置有波片(12)。
4.根据权利要求3所述的多干涉同步移相测量系统，其特征在于：所述波片(12)为1/4波片。
5.根据权利要求1所述的多干涉同步移相测量系统，其特征在于：所述分光系统(4)和第二CCD(8)之间设置第一反射镜(6)，所述半反半透镜(3)和第三CCD(9)之间设置有第二反射镜(7)。
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