[实用新型]用于等离子反应装置的衬套单元有效
| 申请号： | 201520264626.3 | 申请日： | 2015-04-28 |
| 公开（公告）号： | CN204668276U | 公开（公告）日： | 2015-09-23 |
| 发明（设计）人： | 姜文兴 | 申请（专利权）人： | 姜文兴 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01L21/67 |
| 代理公司： | 上海翼胜专利商标事务所(普通合伙) 31218 | 代理人： | 翟羽 |
| 地址： | 中国台湾台南*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 一种用于等离子反应装置的衬套单元，所述等离子反应装置具有一第一腔体以及一第二腔体，所述衬套单元包含：一第一连接部，用于与所述第一腔体连接，以及一第二连接部，用于与所述第二腔体的一对接部对接。所述第一连接部与所述第一腔体的一内侧壁的结构互补，以及所述第一连接部及第二连接部两者的横向边长尺寸不同。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 等离子 反应 装置 衬套 单元 | ||
【主权项】：
一种用于等离子反应装置的衬套单元，其特征在于，所述等离子反应装置具有一第一腔体以及一第二腔体，所述衬套单元包含：一第一连接部，用于与所述第一腔体连接，并且所述第一连接部与所述第一腔体的一内侧壁的结构互补；以及一第二连接部，用于与所述第二腔体的一对接部对接，所述第一连接部及所述第二连接部两者的横向边长尺寸不同。
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