[实用新型]铜铟镓硒太阳能电池氟化钾膜层沉积和扩散装置

摘要

本实用新型提出铜铟镓硒太阳能电池氟化钾膜层沉积和扩散装置，包括有氟化钾喷洒腔，氟化钾喷洒腔连接后热处理腔；将氟化钾的喷洒腔与硒化/硫化腔后的冷却腔连接在一起，基片上形成吸收层后立即进入氟化钾喷洒腔内，通过线性组成的液体喷嘴，基片的直接移动，氟化钾液体均匀的雾状喷洒沉积在基片上，通过加温干燥，形成固体膜层。腔内有氮气保护气体的进出管道，使腔内的含氧量尽可能降低。基片然后进入后处理腔，加温热处理，腔内也有保护气体保护。待钾元素扩散至铜铟镓硒吸收层内后，基片进入冷却腔。

主权项

铜铟镓硒太阳能电池氟化钾膜层沉积和扩散装置，其特征在于：包括有氟化钾喷洒腔，氟化钾喷洒腔连接后热处理腔；氟化钾喷洒腔的一侧在电池基片移动方向上方安装有将雾状氟化钾液体直接均匀的喷洒在电池基片上的铜铟镓硒吸收层的氟化钾溶液喷嘴，氟化钾溶液喷嘴呈线形分布；后热处理腔在电池基片移动方向的上下两端安装有高温加热器。