[实用新型]一种储片盒换气歧管有效
| 申请号： | 201520248103.X | 申请日： | 2015-04-22 |
| 公开（公告）号： | CN204741007U | 公开（公告）日： | 2015-11-04 |
| 发明（设计）人： | 孙晋博 | 申请（专利权）人： | 北京七星华创电子股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/673 | 分类号： | H01L21/673 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 李相雨 |
| 地址： | 100015 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种储片盒换气歧管，竖直安装于开门机构上。所述一种储片盒换气歧管设置进气孔和出气孔，所述出气孔与竖直方向具有预定的倾斜角度，所述出气孔与进气孔相通。本实用新型通过进气孔向歧管通入氮气等气体，并通过出气孔向储片盒的腔内匀速注入氮气等气体，降低储片盒腔内的含氧量，为储片盒营造一个低氧、洁净的微环境。另外由于在换气过程中，在整个纵向都有出气孔，因此形成的层流气流可以最充分的排走储片盒内的空气，并且不容易卷起储片盒内部的颗粒；本实用新型的歧管能够有效防止储片盒门的开门机构将门打开时污染内部的微环境。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 储片盒 换气 歧管 | ||
【主权项】：
一种储片盒换气歧管，安装于开门机构上，其特征在于，所述一种储片盒换气歧管设置进气孔和出气孔，所述进气孔与出气孔相通，由所述进气孔通入气体，并由所述出气孔将气体注入储片盒内；所述出气孔与竖直方向具有预定的倾斜角度。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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