[实用新型]一种晶片角度测试仪

摘要

一种晶片角度测试仪，包括X射线发生器、闪烁探测器、转接板、射线保护罩、工作平台、测角仪、支撑平台和工件夹紧件，X射线发生器和测角仪均固定在工作平台上，支撑平台和工件夹紧件固定在测角仪的回转轴上，闪烁探测器固定在转接板的上端，转接板的左端与支撑平台固定连接，射线保护罩扣设在工作平台上。其特征在于：能够不同规格单晶晶片材料多角度测量，减少因基准面累加而产生的测量误差，有效的提高被测晶体的测量精度，样品台可进行四方位调节和360°旋转定向，延长样品台的使用寿命，可放置大尺寸超薄单晶晶片，方便测量的晶片角度。

主权项

一种晶片角度测试仪，包括通讯接口（1）、X射线发生器（2）、光闸（3）、压簧（4）、压紧件（5）、闪烁探测器（7）、转接板（8）、射线保护罩（9）、测角仪手轮（10）、工作平台（11）、L型样品台（12）、回转轴（13）、测角仪（14）、支撑平台（15）和工件夹紧件（16），其特征在于：所述的X射线发生器（2）和测角仪（14）均固定在工作平台（11）的上端面上，光闸（3）固定在X射线发生器（2）的X射线发射口上，支撑平台（15）通过轴承转设在测角仪（14）的回转轴（13）上，工件夹紧件（16）的下端面固定在测角仪（14）的回转轴（13）上，工件夹紧件（16）的下端面和支撑平台（15）的上端面接触，L型样品台（12）固定在工件夹紧件（16）的右侧，工件夹紧件（16）的上端开设有弹簧装配孔，压簧（4）和压紧件（5）装配在所述的弹簧装配孔内，压簧（4）的一端抵顶在所述的弹簧装配孔的孔底，压簧（4）的另一端抵顶在压紧件（5）的左端面上，压紧件（5）的右端面与L型样品台（12）的右端面将被测晶片（6）夹紧，闪烁探测器（7）固定在转接板（8）的上端，转接板（8）的左端与支撑平台（15）固定连接，射线保护罩（9）扣设在工作平台（11）上，闪烁探测器（7）、转接板（8）、L型样品台（12）、测角仪（14）、支撑平台（15）和工件夹紧件（16）均装设在射线保护罩（9）的内部，测角仪（14）的操作面板通过射线保护罩（9）的侧面开设的口裸露在外，光闸（3）与X射线发生器（2）的连接端即光闸（3）的左端设置在射线保护罩（9）的外部，光闸（3）的右端设置在射线保护罩（9）的内部，X射线发生器（2）设置有通讯接口（1），测角仪（14）的输入轴上装设有测角仪手轮（10）。