[实用新型]一种晶片角度测试仪

说明书

技术领域

本实用新型涉及X射线晶片角度测试设备领域，特别涉及一种晶片角度测试仪。

背景技术

X射线晶片角度测试仪应用X射线衍射原理，通过采用测角方式对各种单晶晶片进行角度测量及晶向的确定。生长出来的各种直径单晶晶锭先加工成晶，再加工成晶片，加工的晶片需要对晶片的单晶晶体角度精确地测定，同时要准确地判定晶体的晶向。传统的晶片角度测试仪，由工作台、上盖板、大型高压变压器、电器柜、测角仪等组成，测量角度范围窄、占地面积大、工作效率低、设备耗电量高、角度及晶向测量精度低，其X射线定向仪经晶片反射后被金属管接收，直接由微安表显示射线的峰值判定晶片的角度正确性及及晶向，由于X光波无效波长干扰，无法满足各种规格单晶晶片材料角度及晶向精确测量。测量范围小，测试及定向精度差，满足不了各种高精度加工要求的单晶晶片材料生产的需要。

实用新型内容

本实用新型的目的是，提供一种能够不同规格单晶晶片材料多角度测量，减少因基准面累加而产生的测量误差，有效的提高被测晶体的测量精度，样品台可进行四方位调节和360°旋转定向，延长样品台的使用寿命，可放置大尺寸超薄单晶晶片，方便测量的晶片角度的测试仪。

采用的技术方案是：

一种晶片角度测试仪，包括通讯接口、X射线发生器、光闸、压簧、压紧件、闪烁探测器、转接板、射线保护罩、测角仪手轮、工作平台、L型样品台、回转轴、测角仪、支撑平台和工件夹紧件，其特征在于：所述的X射线发生器和测角仪均固定在工作平台的上端面上，光闸固定在X射线发生器的X射线发射口上，支撑平台通过轴承转设在测角仪的回转轴上，支撑平台能够手动进行旋转，进而带动闪烁探测器，调整闪烁探测器位置，工件夹紧件的下端面固定在测角仪的回转轴上，工件夹紧件的下端面和支撑平台的上端面接触，L型样品台固定在工件夹紧件的右侧，工件夹紧件的上端开设有弹簧装配孔，压簧和压紧件装配在所述的弹簧装配孔内，压簧的一端抵顶在所述的弹簧装配孔的孔底，压簧的另一端抵顶在压紧件的左端面上，压紧件的右端面与L型样品台的右端面将被测晶片夹紧，闪烁探测器固定在转接板的上端，转接板的左端与支撑平台固定连接，射线保护罩扣设在工作平台上，闪烁探测器、转接板、L型样品台、测角仪、支撑平台和工件夹紧件均装设在射线保护罩的内部，测角仪的操作面板通过射线保护罩的侧面开设的口裸露在外，光闸与X射线发生器的连接端即光闸的左端设置在射线保护罩的外部，光闸的右端设置在射线保护罩的内部，X射线发生器设置有通讯接口，测角仪的输入轴上装设有测角仪手轮。

调整测角仪手轮改变放置在L型样品台被测晶片位置，X射线发生器产生的X光信号通过光闸，经可360°旋转的L型样品台上放置的被测晶片反射后，被闪烁探测器接收，通过放大后X光信号的峰值、半峰高等参数信号找出被测晶片晶向及检测晶体的缺陷。X光信号放大系统放大后也由通讯接口传送至集控室集中进行数据处理。

上述的晶片角度测试仪装设有数显装置，测角仪的传动轴后端安装有编码器，由晶片角度测试仪内部安装控制部分控制。

本实用新型的优点在于：

1、结构简单、占用空间小、使用方便、检测精度高等优点，解决了单晶晶片定向角度重合度低的难题。

2、编码器与主轴（测角仪传动轴）直联，消除了其它传动系统传动角度间隙误差，单晶晶片定向检测精度高。

3、压紧装置将待测晶片压紧在L型样品台工作表面上， X光下进行四方位反复定向测量，工作台360°旋转，待测晶片能达到测量精度，提高了待测晶片的定向检测精度。

附图说明

图1是本实用新型实施例的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型做进一步详述。

一种晶片角度测试仪，包括通讯接口1、X射线发生器2、光闸3、压簧4、压紧件5、闪烁探测器7、转接板8、射线保护罩9、测角仪手轮10、工作平台11、L型样品台12、回转轴13、测角仪14、支撑平台15和工件夹紧件16，其特征在于：所述的X射线发生器2和测角仪14均固定在工作平台11的上端面上，光闸3固定在X射线发生器2的X射线发射口上，支撑平台15通过轴承转设在测角仪14的回转轴13上，工件夹紧件16的下端面固定在测角仪14的回转轴13上，工件夹紧件16的下端面和支撑平台15的上端面接触，L型样品台12固定在工件夹紧件16的右侧，工件夹紧件16的上端开设有弹簧装配孔，压簧4和压紧件5装配在所述的弹簧装配孔内，压簧4的一端抵顶在所述的弹簧装配孔的孔底，压簧4的另一端抵顶在压紧件5的左端面上，压紧件5的右端面与L型样品台12的右端面将被测晶片6夹紧，闪烁探测器7固定在转接板8的上端，转接板8的左端与支撑平台15固定连接，射线保护罩9扣设在工作平台11上，闪烁探测器7、转接板8、L型样品台12、测角仪14、支撑平台15和工件夹紧件16均装设在射线保护罩9的内部，测角仪14的操作面板通过射线保护罩9的侧面开设的口裸露在外，光闸3与X射线发生器2的连接端即光闸3的左端设置在射线保护罩9的外部，光闸3的右端设置在射线保护罩9的内部，X射线发生器2设置有通讯接口1，测角仪14的输入轴上装设有测角仪手轮10。