[实用新型]一种玻璃光罩黑缺陷去除装置

摘要

本实用新型提供了一种玻璃光罩黑缺陷去除装置，包括：用于放置玻璃光罩的具有桥梁结构的移动平台、用于观察玻璃光罩黑缺陷的显微系统、用于发射激光的激光发生器，以及用于供应激光发生器电源的激光电源系统。本实用新型所述一种玻璃光罩黑缺陷去除装置，通过设置龙门式三坐标移动平台、自由切换倍率的显微系统、激光发生器和激光控制器，实现通过激光光斑高温气化去除玻璃光罩黑缺陷的功能。克服了背景技术中所述通过蚀刻液手动去除玻璃光罩黑缺陷可操作性差且容易造成玻璃光罩黑缺陷周围有效图形损伤的弊端。

主权项

一种玻璃光罩黑缺陷去除装置，其特征在于，所述装置包括：用于放置玻璃光罩的具有桥梁结构的移动平台、安装于所述移动平台的所述桥梁结构上面的显微系统、安装于所述显微系统上面的激光发生器，以及通过电源线与所述激光发生器连接的激光电源系统。