[实用新型]一种改进的背电极沉积设备

摘要

一种改进的背电极沉积设备，包括真空腔体和设于所述真空腔体上的腔体盖板，还包括设于所述真空腔体与所述腔体盖板之间的连接合页、用于配合所述连接合页将所述腔体盖板翻起或回落的开合装置、用于调节所述真空腔体内气压的抽送气装置和用于监测所述真空腔体气压的真空计，通过所述真空计的气压监测控制所述抽送气装置从而控制所述开合装置。本实用新型结构紧凑、使用方便，能够代替传统手动方式或吊起方式，省时省力，维修方便，大大提高了生产效率，降低运维成本。

主权项

一种改进的背电极沉积设备，包括真空腔体（1）和设于所述真空腔体（1）上的腔体盖板（2），其特征在于：还包括设于所述真空腔体（1）与所述腔体盖板（2）之间的连接合页（3）、用于配合所述连接合页（3）将所述腔体盖板（2）翻起或回落的开合装置、用于调节所述真空腔体（1）内气压的抽送气装置和用于监测所述真空腔体（1）气压的真空计，通过所述真空计的气压监测控制所述抽送气装置从而控制所述开合装置。