[实用新型]一种阵列基板、显示面板和显示装置

摘要

本实用新型公开了一种阵列基板、显示面板和显示装置，解决由于水、氧和氢基团会由氧化物TFT上方的钝化层渗透至氧化物TFT的有源层，使氧化物TFT的阈值电压发生较大的漂移，所导致的氧化物TFT性能降低甚至会失效的问题。所述阵列基板，包括衬底基板、形成于衬底基板上的氧化物TFT，所述氧化物TFT的上方设置有钝化层，所述钝化层包括第一膜层，所述第一膜层为氧化硅薄膜；所述钝化层还包括形成于所述第一膜层之上的第二膜层，所述第二膜层为氮化硅薄膜和氧化硅薄膜的交替叠层，所述第二膜层的靠近所述第一膜层的底层为氮化硅薄膜；其中，所述第一膜层的厚度大于所述第二膜层的厚度。本实用新型还公开了一种显示面板和显示装置，包括上述的阵列基板。

主权项

一种阵列基板，包括衬底基板、形成于衬底基板上的氧化物TFT，所述氧化物TFT的上方设置有钝化层，其特征在于，所述钝化层包括第一膜层，所述第一膜层为氧化硅薄膜；所述钝化层还包括形成于所述第一膜层之上的第二膜层，所述第二膜层为氮化硅薄膜和氧化硅薄膜的交替叠层，所述第二膜层的靠近所述第一膜层的底层为氮化硅薄膜；其中，所述第一膜层的厚度大于所述第二膜层的厚度。