[实用新型]用于基板镀膜的设备有效
| 申请号： | 201520156572.9 | 申请日： | 2015-03-19 |
| 公开（公告）号： | CN204849002U | 公开（公告）日： | 2015-12-09 |
| 发明（设计）人： | 彭寿;迈克尔·哈尔;王伟;希尔玛·里赫特;斯特凡·伯瑟特;拉尔夫·施托伊登;斯特芬·格奥尔格;塞巴斯蒂安·蒂特尔;维纳·沙德 | 申请（专利权）人： | 中国建材国际工程集团有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/50 |
| 代理公司： | 上海硕力知识产权代理事务所 31251 | 代理人： | 王法男 |
| 地址： | 200061 上海市普*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 提供了一种用于基板镀膜的设备，尤其是用于太阳能电池制造用玻璃基板的镀膜。描述了如下设备，该设备适用于实施所述方法，并且该设备具有带独立的加热系统以及传送系统的加热腔和镀膜腔。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 镀膜 设备 | ||
【主权项】：
一种用于基板镀膜的设备，所述设备具有至少如下元件：至少一个构造为真空腔的加热腔(3)，所述加热腔在内部腔中具有至少两个能彼此独立地控制或调节的加热系统(33、34)，其中，至少一个加热系统(34)加热基板的上侧，并且至少一个加热系统(33)加热所述基板的下侧，并且所述加热系统(33、34)如此地调整，即所述加热系统以如下方式加热所述基板(1)，即使得所述下侧比所述上侧具有更高的温度；至少一个构造为真空腔的并且沿传送方向在所述加热腔(3)之后布置的、带有至少一个能加热的带镀膜材料的蒸发坩塌的镀膜腔(2)；及用于所述基板(1)的穿过所述加热腔(3)的传送系统(30)和用于所述基板(1)的穿过涂层腔(2)地延伸的传送系统(20)，其中，两个传送系统(20、30)均具有多个、平行的、轴向间隔的、沿传送方向一个接一个的、并且垂直于所述传送方向布置的轴(21、31)，其中，每个轴具有外侧辊子(213、313)，在所述外侧辊子之间各布置有至少一个内侧辊子(214、314)。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国建材国际工程集团有限公司，未经中国建材国际工程集团有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201520156572.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
