[实用新型]用于基板镀膜的设备

权利要求书

1.一种用于基板镀膜的设备，所述设备具有至少如下元件：

至少一个构造为真空腔的加热腔(3)，所述加热腔在内部腔中具有至少两个能彼此独立地控制或调节的加热系统(33、34)，其中，至少一个加热系统(34)加热基板的上侧，并且至少一个加热系统(33)加热所述基板的下侧，并且所述加热系统(33、34)如此地调整，即所述加热系统以如下方式加热所述基板(1)，即使得所述下侧比所述上侧具有更高的温度；

至少一个构造为真空腔的并且沿传送方向在所述加热腔(3)之后布置的、带有至少一个能加热的带镀膜材料的蒸发坩塌的镀膜腔(2)；及

用于所述基板(1)的穿过所述加热腔(3)的传送系统(30)和用于所述基板(1)的穿过涂层腔(2)地延伸的传送系统(20)，其中，两个传送系统(20、30)均具有多个、平行的、轴向间隔的、沿传送方向一个接一个的、并且垂直于所述传送方向布置的轴(21、31)，其中，每个轴具有外侧辊子(213、313)，在所述外侧辊子之间各布置有至少一个内侧辊子(214、314)。

2.根据权利要求1所述的设备，其特征在于，每个加热腔(3)和每个镀膜腔(2)具有到所述腔(2、3)中的基板输入端和从所述腔(2、3)中出来的基板输出端，穿过所述基板输入端所述基板(1)从前腔有序地传送进来，穿过所述基板输处端所述基板(1)有序地传送出去布置到在后面的腔中。

3.根据权利要求1或2所述的设备，其特征在于，所述外侧辊子(213、313)具有呈圆锥形的用于所述基板(1)的支承面(2131、3131)，所述支承面具有向最近的轴端部(211、311)去地增加的直径，并且所述支承面(2131、3131)具有从1°至5°。

4.根据权利要求3所述的设备，其特征在于，所述外侧辊子(213、313)具有倾斜的导引轴肩(2132、3132)，所述导引轴肩具有从130°至150°的倾斜，并且所述导引轴肩(2132、3132)高出于所述外侧辊子(213、313)的所述支承面(2131、3131)至少5mm。

5.根据权利要求4所述的设备，其特征在于，那些在其处所述基板(1)的下侧温度处在所述基板(1)的转变温度的区间中的轴(21、31)比那些在其处所述基板(1)的下侧温度处在所述转变温度之下的轴(21、31)具有更大的导引轴肩(2132、3132)间距。

6.根据权利要求5所述的设备，其特征在于，那些在其处所述基板(1)的下侧温度处在所述基板(1)的所述转变温度的区间中的轴(21、31)比那些在其处所述基板(1)的下侧温度处在所述转变温度之下的轴(21、31)具有更多的内侧辊子(214、314)。

7.根据权利要求6所述的设备，其特征在于，那些在其处所述基板(1)的下侧温度向下超越所述转变温度的轴(21、31)在两个外侧辊子(213、313)之间具有第一内侧辊子(214、314)，并且那些在其处所述基板(1)的下侧温度达到转变温度的区间的轴(21、31)具有至少一个其他内侧辊子(214、314)。

8.根据权利要求7所述的设备，其特征在于，所述第一内侧辊子(214、314)在所述轴(21、31)上尽可能居中地布置在所述两个外侧辊子(213、313)之间。

9.根据权利要求8所述的设备，其特征在于，其他内侧辊子.(214、314)各在尽可能居中的内侧辊子(214、314)与所述外侧辊子(213、313)之间的约半程处布置。

10.根据权利要求9所述的设备，其特征在于，所述传送系统(30)的内侧辊子(214、314)沿传送方向看对齐地布置。