[实用新型]基板载具有效
| 申请号： | 201520120861.3 | 申请日： | 2015-03-02 |
| 公开（公告）号： | CN204589293U | 公开（公告）日： | 2015-08-26 |
| 发明（设计）人： | 江信宽;曹承育;刘书谦;詹逸民 | 申请（专利权）人： | 英属开曼群岛商精曜有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 宋焰琴 |
| 地址： | 英属开*** | 国省代码： | 开曼群岛;KY |
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| 摘要： | 一种基板载具，用以在一镀膜工艺中承载至少一基板。基板载具包括一主框架、一图案化屏蔽层与复数个挡块。主框架具有至少一第一开口贯穿主框架。图案化屏蔽层设置于主框架的一上表面，并具有至少一第二开口对应至少一第一开口，且第二开口的尺寸小于基板的尺寸。挡块设置于图案化屏蔽层的承载面，其中各挡块分别沿着第二开口的边缘设置，用以将基板定位以对应于第二开口。因此，当基板载具承载基板时，基板对应第二开口而放置于图案化屏蔽层的承载面，且第二开口与第一开口部分暴露出基板。 | ||
| 搜索关键词： | 基板载具 | ||
【主权项】：
一种基板载具，用以在一镀膜工艺中承载至少一基板，其特征是，该基板载具包括：一主框架，其具有一上表面与一下表面，且该主框架具有至少一第一开口贯穿该主框架；一图案化屏蔽层，设置于该主框架的该上表面，其中该图案化屏蔽层具有至少一第二开口对应该至少一第一开口，该第二开口的尺寸小于该第一开口的尺寸，该图案化屏蔽层具有一承载面，且该第二开口的尺寸小于该基板的尺寸；以及复数个挡块，设置于该图案化屏蔽层的该承载面，其中各该挡块分别沿着该第二开口的边缘设置，用以将该基板定位以对应于该第二开口；其中，当该基板载具承载该基板时，该基板对应该第二开口而放置于该图案化屏蔽层的该承载面，且该第二开口与该第一开口部分暴露出该基板。
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