[实用新型]基板载具

说明书

技术领域

本实用新型是关于一种基板载具，尤其指一种可进行由下往上镀膜工艺的基板载具。

背景技术

请参考图1与图2。图1绘示了公知基板载具的俯视图，图2绘示了图1的基板载具沿剖线A-A’的剖视图。如图1与图2所示，公知基板载具10具有一承载面10A、一定位部10B、一下表面10D以及一开口10C贯穿基板载具10。承载面10A用以承接一基板1，以进行由下往上镀膜工艺。开口10C的尺寸小于基板1的尺寸，且开口10C具有一侧壁10E垂直于承载面10A。

当进行镀膜工艺时，基板1置放于基板载具10的承载面10A上并利用定位部10B定位并对应于开口10C，此时开口10C会部分暴露出基板1的加工面。然而，在公知基板载具10承载基板1时，由于定位部10B具有尖锐直角的结构，因此容易造成基板1在取放过程中因碰撞而破裂。再者，公知基板载具10的开口10C的侧壁10E具有一定宽度而会产生阴影效应，因此会有镀膜厚度不均匀情形发生，特别是在基板1的边缘区域的膜层的厚度会明显小于基板1的中央区域的膜层的厚度。鉴于上述因素，利用公知基板载具10进行由下往上镀膜工艺所形成的膜层的良率不佳，因此亟需一种基板载具以解决上述问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种基板载具，以解决基板镀膜不均、镀膜面积狭小与基板易破裂的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供的基板载具，用以在一镀膜工艺中承载至少一基板，基板载具包括一主框架(main frame)、一图案化屏蔽层(patterned mask layer)和复数个挡块(blocker)。主框架具有一上表面与一下表面，且主框架具有至少一第一开口贯穿主框架，图案化屏蔽层设置于主框架的上表面，其中图案化屏蔽层具有至少一第二开口对应至少一第一开口，第二开口的尺寸小于第一开口的尺寸，图案化屏蔽层具有一承载面，且第二开口的尺寸小于基板的尺寸。复数个挡块设置于图案化屏蔽层的承载面，其中各挡块分别沿着第二开口的边缘设置，用以将基板定位以对应于第二开口。当基板载具承载基板时，基板对应第二开口而放置于图案化屏蔽层的承载面，且第二开口与第一开口部分暴露出基板。

本实用新型的效果在于，基板载具包括主框架、图案化屏蔽层和挡块三个部分，如此一来，进行镀膜工艺时，可通过改变图案化屏蔽层的大小来提升镀膜面积。此外，挡块可有效避免不预期破裂的发生，而由图案化屏蔽层作为附加电路板搭配主框架的设计更可有效减少阴影效应的影响，进而改善公知技术所面临的问题。

附图说明

图1绘示了公知基板载具的俯视图。

图2绘示了图1的基板载具沿剖线A-A’的剖视图。

图3绘示了本实用新型的第一较佳实施例的基板载具的俯视图。

图4绘示了图3的基板载具沿剖线B-B’的剖视图。

图5绘示了本实用新型的第一较佳实施例的一变化实施例的基板载具的示意图。

图6绘示了本实用新型的第一较佳实施例的另一变化实施例的基板载具的俯视图。

图7绘示了图6的基板载具沿剖线C-C’的剖视图。

图8绘示了本实用新型的第二较佳实施例的基板载具的俯视图。

图9绘示了图8的基板载具沿剖线D-D’的剖视图。

附图中符号说明

1,2基板；10,20,30,40,50基板载具；10A承载面；10B定位部；10C开口；10D下表面；10E侧壁；22主框架；24图案化屏蔽层；26挡块；28固定组件；2B下表面；22A上表面；22B下表面；222第一开口；222A侧壁；224镂空开孔；θ₁,θ₂,θ₃夹角；24A承载面；242第二开口；26A顶表面；26B底表面；262条状结构；264圆弧结构；266侧壁；2661第一侧壁；2662第二侧壁。

具体实施方式

为能更进一步了解本实用新型，以下特列举本实用新型的较佳实施例，并配合附图，详细说明本实用新型的构成内容及所欲达成的功效。