[实用新型]基板载具

权利要求书

1.一种基板载具，用以在一镀膜工艺中承载至少一基板，其特征是，该基板载具包括：

一主框架，其具有一上表面与一下表面，且该主框架具有至少一第一开口贯穿该主框架；

一图案化屏蔽层，设置于该主框架的该上表面，其中该图案化屏蔽层具有至少一第二开口对应该至少一第一开口，该第二开口的尺寸小于该第一开口的尺寸，该图案化屏蔽层具有一承载面，且该第二开口的尺寸小于该基板的尺寸；以及

复数个挡块，设置于该图案化屏蔽层的该承载面，其中各该挡块分别沿着该第二开口的边缘设置，用以将该基板定位以对应于该第二开口；

其中，当该基板载具承载该基板时，该基板对应该第二开口而放置于该图案化屏蔽层的该承载面，且该第二开口与该第一开口部分暴露出该基板。

2.根据权利要求1所述的基板载具，其特征是，该第一开口具有一倾斜的侧壁，且该第一开口在该下表面的截面积大于该第一开口在该上表面的截面积。

3.根据权利要求1所述的基板载具，其特征是，该第一开口的一垂直剖面形状为一梯形。

4.根据权利要求2所述的基板载具，其特征是，该主框架的该第一开口的该侧壁与该主框架的该上表面具有一夹角，且该夹角介于30度与80度之间。

5.根据权利要求1所述的基板载具，其特征是，该图案化屏蔽层的厚度小于或等于1毫米。

6.根据权利要求1所述的基板载具，其特征是，各该挡块具有一条状结构，且该条状结构的两端分别具有一圆弧结构。

7.根据权利要求1所述的基板载具，其特征是，各该挡块具有一底表面与一顶表面，该底表面与该图案化屏蔽层的该承载面接触，且该底表面的面积大于该顶表面的面积。

8.根据权利要求7所述的基板载具，其特征是，各该挡块的一垂直剖面形状为一梯形。

9.根据权利要求8所述的基板载具，其特征是，各该挡块具有至少一侧壁，该侧壁与该底表面具有一夹角，且该夹角介于为30度与80度之间。

10.根据权利要求7所述的基板载具，其特征是，各该挡块包括一第一侧壁与一第二侧壁，依序上下相接于该顶表面与该底表面之间，其中该第二侧壁垂直于该底表面，该第一侧壁与该顶表面具有一夹角，且该夹角介于100度与150度之间。

11.根据权利要求10所述的基板载具，其特征是，该第二侧壁的高度小于2毫米。

12.根据权利要求1所述的基板载具，其特征是，该主框架的边缘包括复数个镂空开孔。

13.根据权利要求1所述的基板载具，其特征是，包括复数个固定组件，用以将各该挡块固定于该图案化屏蔽层的该承载面。

14.根据权利要求1所述的基板载具，其特征是，该主框架包括复数个第一开口，该图案化屏蔽层包括复数个第二开口分别对应该复数个第一开口，且各该第二开口的边缘分别设置一部分的各该挡块。

15.根据权利要求1所述的基板载具，其特征是，该主框架具有复数个第一开口，该图案化屏蔽层具有复数个第二开口分别对应该复数个第一开口，任两相邻的该复数个第二开口之间设置有该挡块，且两相邻的该复数个第二开口共享该挡块。

16.根据权利要求1所述的基板载具，其特征是，该镀膜工艺为由下往上的镀膜工艺，用以经由该第一开口与该第二开口于该基板的一下表面进行镀膜。

17.根据权利要求16所述的基板载具，其特征是，该镀膜工艺为一热蒸镀工艺或一溅镀工艺。

18.根据权利要求1所述的基板载具，其特征是，该基板包括一太阳电池基板。