[实用新型]一种可进行远程观测的泡生法蓝宝石晶体炉有效
申请号: | 201520105696.4 | 申请日: | 2015-02-13 |
公开(公告)号: | CN204455355U | 公开(公告)日: | 2015-07-08 |
发明(设计)人: | 刘瑜;陈晓玲;杜慧江 | 申请(专利权)人: | 杭州晶一智能科技有限公司 |
主分类号: | C30B17/00 | 分类号: | C30B17/00;C30B29/20 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 310013 浙江省杭州市*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 公开一种可进行远程观测的泡生法蓝宝石晶体炉,设置进行集中控制的控制器,可以驱动籽晶杆旋转的籽晶旋转系统,可以驱动所述的籽晶杆上下运动的籽晶提拉系统,用于测量晶体重量的称重系统,用于测量冷却水温度的测温系统,用于实现长晶的真空环境的真空系统,用于实现高温环境的加热系统,进行参数和信息显示的显示界面,还包括设置在所述的蓝宝石晶体炉的炉盖上的套筒,所述的套筒内设置摄像机系统,所述的套筒的下端设置密封件,所述的密封件包括平面石英玻璃和橡胶圈,所述的摄像机系统与所述的控制器连接。采用该方案可以更加方便地观测蓝宝石晶体生长情况,从而提高引晶的成功率。 | ||
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【主权项】:
一种可进行远程观测的泡生法蓝宝石晶体炉,设置进行集中控制的控制器,可以驱动籽晶杆旋转的籽晶旋转系统,可以驱动所述的籽晶杆上下运动的籽晶提拉系统,用于测量晶体重量的称重系统,用于测量冷却水温度的测温系统,用于实现长晶的真空环境的真空系统,用于实现高温环境的加热系统,进行参数和信息显示的显示界面,所述的显示界面、籽晶旋转系统、籽晶提拉系统、称重系统、测温系统、真空系统、加热系统与所述的控制器连接,其特征在于:还包括设置在所述的蓝宝石晶体炉的炉盖上的套筒,所述的套筒焊接在所述的炉盖的开口上,所述的套筒内设置摄像机系统,所述的套筒的下端设置密封件,所述的密封件包括平面石英玻璃和橡胶圈,所述的摄像机系统与所述的控制器连接。
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