[实用新型]硅片工装花篮方向检测机构

摘要

本实用新型公开一种硅片工装花篮方向检测机构，包括设置在支撑板上的用于检测位于其上方的工装花篮的搁置方向是否正确的检测头，检测头内包括发光器和收光器，收光器连接在一检测电路中，当工装花篮位于检测头上方时，发光器发出的光束经被检测部反射后被收光器接收。当工装花篮经过时，其上的被检测部位于检测头的上方，检测头中的发光器发出的光束经被检测部反射后能够被检测头中的收光器接收到，进而确定工装花篮的方向正确，而当工装花篮经过检测头上方时，收光器未检测到光束，则工装花篮方向不正确，启动相应的报警，提醒操作者进行调整，该机构能够及时、高效地对工装花篮的搁置方向进行检测，进而有效提高后续插片的效率。

主权项

一种硅片工装花篮方向检测机构，工装花篮具有上壁、下壁、对应连接在上壁与下壁之间的两个侧壁，上壁、下壁与两个侧壁之间形成硅片的收纳空间，收纳空间沿平行于上壁及侧壁的方向上的一端为供硅片进入的敞口、另一端具有用于限定硅片的挡板，下壁设置有被检测部，该检测机构设置在一输送机构上，所述的输送机构包括供工装花篮移动的导轨、沿长度方向设置在所述的导轨内的两条同步移动的输送带，两条所述的输送带相平行，工装花篮位于两条所述的输送带上且能够随之移动，两条所述的输送带之间设置有一支撑板，其特征在于：该检测机构包括设置在所述的支撑板上的用于检测位于其上方的工装花篮的搁置方向是否正确的检测头，所述的检测头内包括发光器和收光器，所述的收光器连接在一检测电路中，当工装花篮位于所述的检测头上方时，所述的发光器发出的光束经所述的被检测部反射后被所述的收光器接收。