[实用新型]一种喷金溅射仪有效
| 申请号： | 201520032898.0 | 申请日： | 2015-01-17 |
| 公开（公告）号： | CN204417581U | 公开（公告）日： | 2015-06-24 |
| 发明（设计）人： | 尚跃;余夕霞 | 申请（专利权）人： | 上海聚跃电子科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/14 |
| 代理公司： | 无 | 代理人： | 无 |
| 地址： | 200233 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种喷金溅射仪，包括腔体，所述腔体的内部设有金靶、溅射头、真空室、倒计时器和样品台，所述腔体的外侧设有操作设备和电源，所述溅射头固定在真空室的顶部，所述真空室的侧面设有溅射气体入口和真空泵连接出口，所述金靶安装在溅射头内，所述样品台位于真空室内部的底部中间，所述样品台通过线路与电源接通，所述操作设备位于样品台与电源之间的线路上，所述金靶通过倒计时器与电源连接。本实用新型提供的喷金溅射仪能大幅提高样品的导电性、成本低、控制方便。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 溅射 | ||
【主权项】：
一种喷金溅射仪，包括腔体，其特征在于，所述腔体的内部设有金靶、溅射头、真空室、倒计时器和样品台，所述腔体的外侧设有操作设备和电源，所述溅射头固定在真空室的顶部，所述真空室的侧面设有溅射气体入口和真空泵连接出口，所述金靶安装在溅射头内，所述样品台位于真空室内部的底部中间，所述样品台通过线路与电源接通，所述操作设备位于样品台与电源之间的线路上，所述金靶通过倒计时器与电源连接。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海聚跃电子科技有限公司;，未经上海聚跃电子科技有限公司;许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201520032898.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种磁控溅射镀膜磁钢
- 下一篇：镀膜抑弧电箱
- 同类专利
- 专利分类
