[实用新型]一种用于高温感应加热炉的坩埚支撑架有效
| 申请号： | 201520005581.8 | 申请日： | 2015-01-06 |
| 公开（公告）号： | CN204530020U | 公开（公告）日： | 2015-08-05 |
| 发明（设计）人： | 刘京明;刘彤;董志远;赵有文;李百泉 | 申请（专利权）人： | 北京华进创威电子有限公司 |
| 主分类号： | C30B23/00 | 分类号： | C30B23/00;C30B29/38 |
| 代理公司： | 北京中创阳光知识产权代理有限责任公司 11003 | 代理人： | 尹振启 |
| 地址： | 101111 北京市大*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于高温感应加热炉的坩埚支撑架，包括：托盘和支撑杆，托盘为石英材质，其上侧面设置有凸台结构、下侧面设置有十字型的插槽，支撑杆顶端设置有与插槽相匹配的“十字架”型的插头、底端连接在升降机构上；支撑杆的插头插置在托盘的插槽内。坩埚设置在凸台结构上，保温材料安装并固定在凸台结构周围的托盘上，有效的固定坩埚及保温材料；由于石英材料熔点为1750℃，耐高温且为绝缘材料可以避免托盘感应发热对晶体生长温场的影响，有利用实现温场调节和控制；支撑杆顶端为“十字架”结构，托盘的底部为十字型的插槽结构，由于支撑杆及托盘的材料热涨系数不同，保证两者非紧密连接；结构简单实用且成本低廉。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 高温 感应 加热炉 坩埚 支撑架 | ||
【主权项】：
一种用于高温感应加热炉的坩埚支撑架，其特征在于，该坩埚支撑架包括：托盘和支撑杆，所述托盘置于感应加热炉的炉腔内，托盘为石英材质，其上侧面设置有凸台结构、下侧面设置有十字型的插槽，所述支撑杆顶端设置有与所述插槽相匹配的“十字架”型的插头、底端伸出所述感应加热炉炉腔并连接在升降机构上；支撑杆的所述插头插置在托盘的插槽内。
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