[发明专利]一种兼具表面粗化及电接触的发光二极管结构及制造方法有效
| 申请号： | 201511035137.1 | 申请日： | 2015-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN105633239B | 公开（公告）日： | 2018-11-09 |
| 发明（设计）人： | 卢怡安;吴俊毅;吴超瑜;王笃祥 | 申请（专利权）人： | 天津三安光电有限公司 |
| 主分类号： | H01L33/22 | 分类号： | H01L33/22;H01L33/00 |
| 代理公司： | 天津滨海科纬知识产权代理有限公司 12211 | 代理人： | 刘莹 |
| 地址： | 300384 天津市*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种兼具表面粗化及电接触的发光二极管结构及制造方法，该二极管以基底背面的天然粗化面为表面形貌模版，藉由干蚀刻方式将粗糙面复制到外延层上，取代传统的湿蚀刻粗化。利用干蚀刻方式制作粗糙面，并将蚀刻面停止在接触层及N型层接口，可利用残余表面的点状接触层作为欧姆接触点，再沉积导电膜于表面，可达到整面点状的欧姆接触，不需再制作扩展条。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 兼具 表面 接触 发光二极管 结构 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种兼具表面粗化及电接触的发光二极管结构，其特征在于：N型层的表面粗化，且在粗化面顶端从上到下依次设有欧姆接触金属层、欧姆接触层，其中欧姆接触层直接覆盖N型层的顶表面而不覆盖N型层的侧表面，欧姆接触金属层直接覆盖欧姆接触层的顶表面而不覆盖N型层和欧姆接触层的侧表面，且在粗化面与电极之间填充有透明导电层，透明导电层覆盖整个粗化面；透明导电层为ITO，ZnO或IZO中的一种。
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