[发明专利]气囊式晶片粘结助压手柄有效
| 申请号： | 201511006393.8 | 申请日： | 2015-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN105479327B | 公开（公告）日： | 2018-08-24 |
| 发明（设计）人： | 卓世异;黄维;王乐星;陈辉;庄击勇;刘学超;施尔畏 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海硅酸盐研究所 |
| 主分类号： | B24B37/34 | 分类号： | B24B37/34;H01L21/67 |
| 代理公司： | 上海瀚桥专利代理事务所(普通合伙) 31261 | 代理人： | 曹芳玲;姚佳雯 |
| 地址： | 200050 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种气囊式晶片粘结助压手柄，包括：内置通气管道的握柄；能装卸地安装于所述握柄的梢端的气囊；和设于所述通气管道上的气阀；所述通气管道的一端与所述气囊连通，所述通气管道的另一端与供气单元相连通。本发明用于晶片粘结后挤出气泡、压按平整。 | ||
| 搜索关键词： | 通气管道 晶片 粘结 手柄 气囊式 握柄 供气单元 气囊连通 气阀 气囊 内置 装卸 平整 挤出 | ||
【主权项】：
1.一种气囊式晶片粘结助压手柄，其特征在于，包括：内置通气管道的握柄；能装卸地安装于所述握柄的梢端的气囊；和设于所述通气管道上的气阀；所述通气管道的一端与所述气囊连通，所述通气管道的另一端与供气单元相连通；所述握柄形成为T型握柄；通过移动所述握柄能够从各方向进行均匀的按压。
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