[发明专利]阻抗调节器校准系统及校准方法

摘要

一种阻抗调节器校准系统及校准方法，采用形成于晶圆的直通阻抗元件替换阻抗标准基片上的直通元件，一方面利用晶圆上现有的结构或额外制作直通元件成本较低，另一方面，该形成于晶圆的直通阻抗元件上适于与探针配合使用的测试焊盘的材质可以与待测试器件的焊盘材质相同，测试过程中探针与待测试器件焊盘之间的接触电阻、校准过程探针与标准基片上直通元件之间的接触电阻不同引起的测试误差能得以减小，从而提高校准准确度。

主权项

1.一种应用于阻抗调节器校准系统的校准方法，所述阻抗调节器校准系统包括：网络分析仪；源牵引调谐器，一端与所述网络分析仪连接，另一端连接有第一组探针；负载牵引调谐器，一端与所述网络分析仪连接，另一端连接有第二组探针；还包括：形成于晶圆的直通阻抗元件，所述直通阻抗元件为接地‑信号‑接地结构，所述接地‑信号‑接地结构具有适于分别与第一组探针、第二组探针配合使用的一对接地测试焊盘、一对信号测试焊盘、一对接地测试焊盘；其特征在于，所述校准方法包括：将所述第一组探针、第二组探针对应扎在一对接地测试焊盘、一对信号测试焊盘、一对接地测试焊盘表面保持固定；固定负载牵引调谐器的探子位置以保持其阻抗不变，获取负载牵引调谐器、直通阻抗元件的总阻抗；滑动源牵引调谐器的探子至一位置，获取对应该探子位置的源牵引调谐器、负载牵引调谐器、直通阻抗元件的总阻抗，与负载牵引调谐器、直通阻抗元件的总阻抗取差值后获取对应该探子位置的源牵引调谐器的阻抗；滑动源牵引调谐器探子遍历其可滑动范围内的任一位置，获取源牵引调谐器的探子位置‑阻抗列表；固定源牵引调谐器的探子位置以保持其阻抗不变，获取源牵引调谐器、直通阻抗元件的总阻抗；滑动负载牵引调谐器的探子至一位置，获取对应该探子位置的负载牵引调谐器、源牵引调谐器、直通阻抗元件的总阻抗，与源牵引调谐器、直通阻抗元件的总阻抗取差值后获取对应该探子位置的负载牵引调谐器的阻抗；滑动负载牵引调谐器探子遍历其可滑动范围内的任一位置，获取负载源牵引调谐器的探子位置‑阻抗列表。