[发明专利]三维集成阻变存储器的热效应评估及降低热串扰的方法在审

专利信息
申请号: 201510983042.6 申请日: 2015-12-24
公开(公告)号: CN106919723A 公开(公告)日: 2017-07-04
发明(设计)人: 卢年端;孙鹏霄;李泠;刘明;刘琦;吕杭炳;龙世兵 申请(专利权)人: 中国科学院微电子研究所
主分类号: G06F17/50 分类号: G06F17/50;H01L45/00
代理公司: 北京蓝智辉煌知识产权代理事务所(普通合伙)11345 代理人: 陈红
地址: 100029 *** 国省代码: 北京;11
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摘要: 一种方法,用于3D RRAM阵列的热效应评估及降低热串扰,包括步骤步骤1,通过3D傅立叶热传导方程计算阵列中温度分布;步骤2,选择热传输模式;步骤3,选择合适的阵列结构;步骤4,分析阵列中编程器件位置对于温度的影响;步骤5,分析阵列中热串扰效应;步骤6,评估热效应及热串扰;步骤7,根据评估结果改变阵列结构或修改操作参数以降低热串扰。依照本发明的方法,根据3D RRAM阵列热传输模式分析了器件位置对温度的影响,评估了热效应和热串扰,并根据评估结果选择合适的阵列结构以及操作参数,有效提高了器件的热稳定性。
搜索关键词: 三维 集成 存储器 热效应 评估 降低 热串扰 方法
【主权项】:
一种方法,用于3D RRAM阵列的热效应评估及降低热串扰,包括步骤:步骤1,通过3D傅立叶热传导方程计算阵列中温度分布;步骤2,选择热传输模式;步骤3,选择合适的阵列结构;步骤4,分析阵列中编程器件位置对于温度的影响;步骤5,分析阵列中热串扰效应;步骤6,评估热效应及热串扰;步骤7,根据评估结果改变阵列结构或修改操作参数以降低热串扰。
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