[发明专利]一种大功率片式全薄膜固定电阻器及其制作方法

摘要

本发明公开了一种大功率片式全薄膜固定电阻器及其制作方法，大功率片式全薄膜固定电阻器包括基板、薄膜电阻膜层、正背电极膜层、薄膜端电极层、镍阻挡层、锡铅可焊层。大功率片式全薄膜固定电阻器以氮化铝基板为载体，采用金属合金为薄膜电阻膜层，采用金属铜为薄膜正背电极层；采用磁控溅射技术，溅射金属合金和金属铜；采用热处理和热稳定技术，以增加稳定性和耐热性；采用激光调阻技术，进行阻值修正。本发明中的大功率片式全薄膜固定电阻器功率大、精度高、稳定性好。本发明中的2512尺寸产品额定功率可达4W，阻值范围可从1Ω到10MΩ，使电子设备的重量明显下降、体积明显减小。

主权项

一种大功率片式全薄膜固定电阻器，其特征是，包括基板、形成于基板上的薄膜电阻膜层、形成于基板上的正背电极膜层、溅射于基板端部的薄膜端电极层、位于正背电极膜层和薄膜端电极层表面的镍阻挡层、位于镍阻挡层上面的锡铅可焊层。