[发明专利]石英管的防护方法

摘要

本发明提供了一种石英管的防护方法，所述石英管用于采用含氯物质作为反应物的沉积设备，所述石英管的防护方法包括：去除所述石英管内的羟基；以及在所述石英管内生成键能的强化物。本发明的石英管的防护方法中，通过去除石英管内的羟基，可以避免羟基与所述含氯物质发生反应而生成黄色的反应物，而生成的键能的强化物可以防止石英材料中的氧元素与含氯物质发生反应而同样生成黄色的反应物，如此，在进行沉积制程后，便于石英管的保养和维护，从而提高石英管的使用寿命；并且，键能的强化物还可以提升石英管的表面特性，使得后期保养维护不易对石英管造成损伤，确保了沉积制程的可靠性。