[发明专利]一种干法转移金属衬底上石墨烯的方法有效
| 申请号： | 201510933644.0 | 申请日： | 2015-12-15 |
| 公开（公告）号： | CN106882792B | 公开（公告）日： | 2019-03-01 |
| 发明（设计）人： | 张燕辉;于广辉;葛晓明;张浩然;陈志蓥;隋妍萍;邓荣轩 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
| 主分类号： | C01B32/184 | 分类号： | C01B32/184 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 罗泳文 |
| 地址： | 200050 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种干法转移金属衬底上石墨烯的方法，包括：1）将长有石墨烯的金属衬底置于目标衬底上，并将所述石墨烯面朝目标衬底；2）将放置好的长有石墨烯的金属衬底和目标衬底放入反应器中，在保护气氛下，升温至金属衬底熔化温度或以上，使所述金属衬底熔化收缩成金属小球，所述石墨烯附着于目标衬底上，保温预设时间后在保护气氛下降至室温，以将所述石墨烯转移至目标衬底上。本发明的方法重复性高、简单易行，用于微电子和光电子领域用高质量石墨烯的规模批量转移；本发明转移过程属于物理过程且无需其他液态或者固态试剂辅助，转移过程不会引入其他杂质，可有效避免非故意掺杂，降低了转移过程对石墨烯电学性能的影响。 | ||
| 搜索关键词： | 石墨烯 金属衬 衬底 熔化 干法转移 光电子领域 电学性能 固态试剂 金属小球 物理过程 反应器 放入 附着 预设 微电子 保温 收缩 掺杂 引入 | ||
【主权项】：
1.一种干法转移金属衬底上石墨烯的方法，其特征在于，包括步骤：步骤1)，将长有石墨烯的金属衬底置于目标衬底上，并将所述石墨烯面朝目标衬底，其中，所述金属衬底熔化后与石墨烯不浸润，所述金属衬底的材料包括铜、镍、钴及钌的一种或两种以上的合金；步骤2)，将放置好的长有石墨烯的金属衬底和目标衬底放入反应器中，在保护气氛下，升温至金属衬底熔化温度或以上，使所述金属衬底熔化收缩成金属小球，所述石墨烯附着于目标衬底上，保温预设时间后在保护气氛下降至室温，以将所述石墨烯转移至目标衬底上，将目标衬底倾斜一定角度放置，以使熔化后的金属小球在自身重力的作用下滚到石墨烯以外的区域，或者通过用机械外力或者化学腐蚀的方法去除所述金属小球。
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