[发明专利]一种用于激光器的射频电源在审
| 申请号： | 201510923985.X | 申请日： | 2015-12-14 |
| 公开（公告）号： | CN105449502A | 公开（公告）日： | 2016-03-30 |
| 发明（设计）人： | 徐海军 | 申请（专利权）人： | 北京热刺激光技术有限责任公司 |
| 主分类号： | H01S3/09 | 分类号： | H01S3/09;H01S3/041 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100016 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种用于激光器的射频电源，其特征在于：包括第一功率放大模块，第二功率放大模块，第三功率放大模块，第四功率放大模块，第五功率放大模块，第六功率放大模块，第一微带功率合成电路，第二微带功率合成电路，第三功率合成微带电路，射频输出匹配电路和水冷散热器；其中，第一功率放大模块，第二功率放大模块，第三功率放大模块，第四功率放大模块，第五功率放大模块，第六功率放大模块。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 激光器 射频 电源 | ||
【主权项】：
一种用于激光器的射频电源，其特征在于：包括第一功率放大模块，第二功率放大模块，第三功率放大模块，第四功率放大模块，第五功率放大模块，第六功率放大模块，第一微带功率合成电路，第二微带功率合成电路，第三功率合成微带电路，射频输出匹配电路和水冷散热器；其中，第一功率放大模块，第二功率放大模块，第三功率放大模块，第四功率放大模块，第五功率放大模块，第六功率放大模块，这六个模块同时给出81.36Mhz的射频功率电流，通过电极传输给第一功率合成微带电路，第三功率合成微带电路，所述第一功率合成微带电路和第三功率合成微带电路，各将三路功率放大模块输出的信号合成为一路，输出给到第二功率合成微带电路的输入端，所述第二功率合成微带电路把两路输入功率电流合成为一路，并通过电极输送给输出匹配微带电路，经过所述输出匹配微带电路匹配后输出到二氧化碳激光器。
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