[发明专利]一种用于激光器的射频电源

说明书

技术领域

本发明涉及一种用于激光器的射频电源，尤其涉及激光器领域。

背景技术

气体激光器，特别是二氧化碳气体激光器都是运用射频电源对激光器中的气体放电产生激光。射频电源在其中的作用是产生高频率的激励电流，而传统的射频电源均使用普通的散热器和结构，一般用风冷或单面水冷方式，因此大功率的激光器都是与射频电源分开放置，这样需要多个机壳，体积增加了，成本也增加了，而且在激光器与射频电源间还需要一根射频电缆进行连接，而这根射频电缆在高功率工作的时候会发热而产生额外的能量损耗。并且常用的激光器内部的射频功率合成器一般都采用磁环变压器或用分立的电感电容组成合成器，这样的射频功率合成器因为要在合成线路板上焊接额外的元器件因此体积会相对大，而且效率相对微带的射频功率合成器会低，因而会产生热量还需要配套散热的设备。微带电路的优点是不需要额外的元器件，并且效率高发热小，即使发热也能通过线路板把热量导到地下的散热板带走，无须附加风扇这种风冷的散热方式。

发明内容

针对上述所述现有射频电源所存在的问题与不足之处，本发明的目的是提供一款功率密度高与体积小的并能安装进激光器的射频电源系统。

一种用于激光器的射频电源，包括第一功率放大模块，第二功率放大模块，第三功率放大模块，第四功率放大模块，第五功率放大模块，第六功率放大模块，第一微带功率合成电路，第二微带功率合成电路，第三功率合成微带电路，射频输出匹配电路和水冷散热器；其中，第一功率放大模块，第二功率放大模块，第三功率放大模块，第四功率放大模块，第五功率放大模块，第六功率放大模块，这六个模块同时给出81.36Mhz的射频功率电流，通过电极传输给第一功率合成微带电路，第三功率合成微带电路，所述第一功率合成微带电路和第三功率合成微带电路，各将三路功率放大模块输出的信号合成为一路，输出给到第二功率合成微带电路的输入端，所述第二功率合成微带电路把两路输入功率电流合成为一路，并通过电极输送给输出匹配微带电路，经过所述输出匹配微带电路匹配后输出到二氧化碳激光器。

一种功率合成微带电路，其特征在于：包括第一微带传输部；射频电流从三个输入端输入，射频电流经过微带线最终聚集合成到输出端上；其中第一微带传输部是一根宽3.2mm，长度237mm的敷铜线路，其中由3根69.6mm长的直线与2个半径为4.5mm的半圆首尾相接而成。

一种功率合成微带电路，其特征在于：包括第二微带传输部；射频电流从三个输入端输入，射频电流经过微带线最终聚集合成到输出端上；其中第二微带传输部是一根宽3.2mm，长度186.3mm的敷铜线路，其中由4根36mm长的直线与3个半径为4.5mm的半圆首尾相接而成。

一种功率合成微带电路，其特征在于：包括第三微带传输部；射频电流从两个输入端输入，射频电流经过微带线最终聚集合成到输出端上；其中第三微带传输部是一根宽4mm，长度398mm的敷铜线路，其中由9根34mm长的直线与8个半径为3.67mm的半圆首尾相接而成。

一种输出匹配微带电路，其特征在于：射频电流输入进匹配端，经过电容电感匹配后从输出端输出到激光器，其中第四微带传输部是一根宽8mm，长度51.5mm的敷铜线路，射频电流经过时起到匹配的作用。

附图说明：

图1为本发明的系统连接示意图；

图2为本发明的功率合成微带电路7的详细布线图；

图3为本发明的功率合成微带电路9的详细布线图；

图4为本发明的功率合成微带电路8的详细布线图；

图5为本发明的输出匹配微带电路10的详细布线图；

图6为第一总微带合成传输部29详细布线图；

图7为第二总微带合成传输部30详细布线图；

图8为第三总微带合成传输部31详细布线图；

图9为第四总微带合成传输部32详细布线图；

图10为第五总微带合成传输部33详细布线图；

图11为第六总微带合成传输部34详细布线图；

图12为第七总微带合成传输部35详细布线图；

图13为第八总微带合成传输部36详细布线图；

具体实施方式：

下面结合具体实施例和附图对本发明作进一步说明书，但不应以此限制本发明的保护范围。