[发明专利]一种用于激光器的射频电源

权利要求书

1.一种用于激光器的射频电源，其特征在于：包括第一功率放大模块，第二功率放大模块，第三功率放大模块，第四功率放大模块，第五功率放大模块，第六功率放大模块，第一微带功率合成电路，第二微带功率合成电路，第三功率合成微带电路，射频输出匹配电路和水冷散热器；其中，第一功率放大模块，第二功率放大模块，第三功率放大模块，第四功率放大模块，第五功率放大模块，第六功率放大模块，这六个模块同时给出81.36Mhz的射频功率电流，通过电极传输给第一功率合成微带电路，第三功率合成微带电路，所述第一功率合成微带电路和第三功率合成微带电路，各将三路功率放大模块输出的信号合成为一路，输出给到第二功率合成微带电路的输入端，所述第二功率合成微带电路把两路输入功率电流合成为一路，并通过电极输送给输出匹配微带电路，经过所述输出匹配微带电路匹配后输出到二氧化碳激光器。

2.一种功率合成微带电路，其特征在于：包括第一微带传输部；射频电流从三个输入端输入，射频电流经过微带线最终聚集合成到输出端上；其中第一微带传输部是一根宽3.2mm，长度237mm的敷铜线路，其中由3根69.6mm长的直线与2个半径为4.5mm的半圆首尾相接而成。

3.根据权利要求2所述的功率合成微带电路，其特征在于：所述功率合成微带电路由三个总微带合成传输部组成，这三个部分都是一根宽3.2mm，长557mm的微带铜线，其中，第一总微带合成传输部和第二总微带合成传输部与第三总微带合成传输部的微带输入端是分开的，输出接到一起。

4.一种功率合成微带电路，其特征在于：包括第二微带传输部；射频电流从三个输入端输入，射频电流经过微带线最终聚集合成到输出端上；其中第二微带传输部是一根宽3.2mm，长度186.3mm的敷铜线路，其中由4根36mm长的直线与3个半径为4.5mm的半圆首尾相接而成。

5.根据权利要求4所述的功率合成微带电路，其特征在于：所述功率合成微带电路由三个总微带合成传输部组成，这三个部分都是一根宽3.2mm，长557mm的微带铜线，第四总微带合成传输部和第五总微带合成传输部与第六总微带合成传输部的微带输入端是分开的，输出接到一起。

6.一种功率合成微带电路，其特征在于：包括第三微带传输部；射频电流从两个输入端输入，射频电流经过微带线最终聚集合成到输出端上；其中第三微带传输部是一根宽4mm，长度398mm的敷铜线路，其中由9根34mm长的直线与8个半径为3.67mm的半圆首尾相接而成。

7.根据权利要求6所述的功率合成微带电路，其特征在于：所述功率合成微带电路由两个总微带合成传输部组成，这两个部分都是一根宽4mm，长557mm的微带铜线，第七总微带合成传输部的输入接的是如权利要求2所述的第一总微带合成传输部和第二总微带合成传输部与第三总微带合成传输部的微带输出端，而第八总微带合成传输部的微带输入接的是如权利要求4所述的第四总微带合成传输部和第五总微带合成传输部与第六总微带合成传输部的微带输出端，最后第七总微带合成传输部与第八总微带合成传输部的微带的输出端连接到一起。

8.一种输出匹配微带电路，其特征在于：射频电流输入进匹配端，经过电容电感匹配后从输出端输出到激光器，其中第四微带传输部是一根宽8mm，长度51.5mm的敷铜线路，射频电流经过时起到匹配的作用。