[发明专利]具有超声或兆声振荡的二相流雾化清洗装置及清洗方法

摘要

本发明公开了一种具有超声或兆声振荡的二相流雾化清洗装置及清洗方法，在喷嘴主体内沿液体管路内壁表面设置超声波或兆声波发生单元，通过产生超声波或兆声波振荡，将超声波或兆声波能量传导至流经的清洗液体内，使由液体导向出口喷出的清洗液体与由气体导向出口喷出的气体在气液导向部件下方相交形成的雾化颗粒具有超声波或兆声波能量，并在雾化颗粒导向出口的加速或垂直导向作用下向下喷向晶圆表面进行超声波或兆声波雾化清洗，可有效控制对晶圆表面的图形结构造成损伤，提高晶圆表面颗粒污染物的去除效率，缩短工艺时间，节约清洗药液和高纯气体的使用量，节约生产成本，减少环境影响。

主权项

一种具有超声或兆声振荡的二相流雾化清洗装置，用于对放置在清洗腔内旋转平台上的晶圆进行超声波或兆声波雾化清洗，其特征在于，所述清洗装置包括：喷嘴主体，其内部设有液体管路，沿液体管路内壁表面装有超声波或兆声波发生单元，环绕液体管路设有气体管路，喷嘴主体下端设有气液导向部件，气液导向部件以一定对称关系水平设有连通液体管路的多路液体分流管路，各液体分流管路之间具有连通气体管路的出气网板，出气网板垂直设有密布的多数个气体导向出口，沿各液体分流管路设有与喷嘴主体轴线呈预设角度下倾的多数个液体导向出口；进液管路和进气管路，连接设于一喷淋臂上，并分别连通喷嘴主体内的液体管路、气体管路，所述喷淋臂带动喷嘴主体作过晶圆圆心的圆弧往复运动；雾化颗粒导向出口，围绕设于气液导向部件下方，其为拉瓦尔喷管结构或具有竖直的内壁；其中，通过超声波或兆声波发生单元产生超声波或兆声波振荡，将其超声波或兆声波能量传导至流经的清洗液体内，使由液体导向出口喷出的清洗液体与由气体导向出口喷出的气体在气液导向部件下方相交形成的雾化颗粒具有超声波或兆声波能量，并在雾化颗粒导向出口的加速或垂直导向作用下向下喷向晶圆表面进行超声波或兆声波雾化清洗。