[发明专利]光罩清洗装置有效
| 申请号： | 201510872212.3 | 申请日： | 2015-12-02 |
| 公开（公告）号： | CN106807654B | 公开（公告）日： | 2020-06-05 |
| 发明（设计）人： | 陈明生 | 申请（专利权）人： | 特铨股份有限公司 |
| 主分类号： | B08B1/00 | 分类号： | B08B1/00;G03F1/82 |
| 代理公司： | 北京科龙寰宇知识产权代理有限责任公司 11139 | 代理人： | 孙皓晨;李林 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种光罩清洗装置，尤指一种供清洗护膜两侧下表面的光罩清洗装置，其由一湿式清洁模块及一干式清洁模块所组成，该湿、干式清洁模块具有可卷动的无尘布条，供利用无尘布条可直接擦拭光罩表面的方式，以，能迅速、且有效的去除表面附着的微尘或雾化，能提高后续制程的效率与合格率，再者本发明可进行两阶段清洁，其能在清洁后擦干水分，而不致残留清洁水痕或污渍，有助于提升清洁品质。 | ||
| 搜索关键词： | 清洗 装置 | ||
【主权项】：
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