[发明专利]等离子体源单元、等离子体源装置及其应用

摘要

本发明涉及等离子体源单元、等离子体源装置及其应用。所述等离子体源单元包括能源供应系统和微波谐振腔系统，所述微波谐振腔系统包括同轴式微波谐振腔、金属天线、同轴金属柱、空心金属圆柱和金属陶瓷部，所述同轴式微波谐振腔在底部和顶部分别开设有不同轴的第一开口和第二开口；所述空心金属圆柱外接所述第一开口处；所述同轴金属柱同轴插设于所述同轴式微波谐振腔中，一端与所述顶部连接、另一端延伸出所述空心金属圆柱外；所述金属陶瓷部填充在所述同轴金属柱和所述空心金属圆柱之间；所述金属天线插设于所述同轴式微波谐振腔中，一端与所述底部电连接，另一端延伸出所述第二开口；所述第二开口处外设有与所述能源供应系统相连的同轴转接头。

主权项

1.一种等离子体源单元，包括能源供应系统，其特征在于，还包括微波谐振腔系统，所述微波谐振腔系统包括同轴式微波谐振腔、金属天线、同轴金属柱、空心金属圆柱和金属陶瓷部，其中，所述同轴式微波谐振腔的底部同轴开设有第一开口，所述同轴式微波谐振腔的顶部开设有与所述第一开口不同轴的第二开口；所述空心金属圆柱外接于所述同轴式微波谐振腔的第一开口处，且所述空心金属圆柱与所述同轴式微波谐振腔同轴；所述同轴金属柱同轴插设于所述同轴式微波谐振腔中，一端与所述同轴式微波谐振腔的顶部连接、另一端通过所述第一开口并延伸出所述空心金属圆柱外；所述金属陶瓷部填充在所述同轴金属柱和所述空心金属圆柱之间；所述金属天线插设于所述同轴式微波谐振腔中，一端与所述底部电连接，另一端延伸出所述第二开口；所述第二开口处外设有同轴转接头，且所述同轴式微波谐振腔通过所述同轴转接头与所述能源供应系统相连接。