[发明专利]多掩模对准系统和方法有效
| 申请号： | 201510869520.0 | 申请日： | 2015-10-16 |
| 公开（公告）号： | CN105525256B | 公开（公告）日： | 2019-09-10 |
| 发明（设计）人： | 布赖恩·阿瑟·布奇 | 申请（专利权）人： | 阿德文泰克全球有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C16/04 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 赵晓祎;戚传江 |
| 地址： | 英属维尔京*** | 国省代码： | 维尔京群岛;VG |
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| 摘要： | 本发明涉及多掩模对准系统和方法。在一种多掩模对准系统和方法中，提供了具有贯穿其的若干孔径的载体框。也提供了若干阴影掩模‑框组合。每个阴影掩模‑框组合包括第一组对准特征，并且每个阴影掩模‑框组合被定位在载体的第一侧，框支撑阴影掩模与孔径中的一个对准。提供了对准系统，并且也提供了包括可编程的控制器的控制系统。在控制器的控制下，对准系统基于通过控制器确定的第一组对准特征的位置相对于载体来调整每个阴影掩模‑框组合的位置。 | ||
| 搜索关键词： | 多掩模 对准 系统 方法 | ||
【主权项】：
1.一种多阴影掩模对准系统，包括：载体，所述载体包括贯穿其的多个孔径，每个孔径具有与其相关联的：组合框和阴影掩模，所述组合框和阴影掩模被定位在所述载体的第一侧，所述框支撑所述阴影掩模与所述孔径对准；对准系统，所述对准系统被定位在所述载体的与所述第一侧相反的第二侧，并且被操作用于相对于所述载体调整所述组合框和阴影掩模的位置；以及控制系统，所述控制系统包括与所述对准系统联接的可编程控制器，所述控制器被操作用于基于通过所述控制系统确定的所述组合框和阴影掩模的第一组对准特征中的每一个的位置来控制所述对准系统以对准所述组合框和阴影掩模。
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